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机械量测量 机械量包括：长度、位移、速度、转角、转速、力、力矩、振动等参数。其中位移和力的大小是机械量检测的主要任务。 按机械量检测原理分类：见表8-1 机械式 电气电子式 光学式 8 机械量测量 模拟式位移检测——电容式位移检测、电感式位移检测* 、差动变压器式位移检测* 、光纤位移检测* 光学数字式位移检测——光栅标尺、莫尔条纹标尺 转速检测——离心力检测法、光电码盘转速检测法 力的检测方法——金属应变元件、半导体应变元件、压电元件、压敏导电橡胶 加速度与振动检测——加速度检测原理、动电型振动检测方法、微机械加速度传感元件 容栅传感器是基于变面积工作原理的电容传感器，它的电极排列如同栅状。与其他大位移传感器，如光栅、磁栅等相比，虽然精度稍差，但体积小、造价低、耗电省，广泛应用于电子数显卡尺、千分尺、高度仪、坐标仪等几百毫米以下行程的测量中。 容栅传感器可分为三类：直线型容栅、圆容栅和圆筒形容栅。其中，直线型和圆筒形容栅传感器用于直线位移的测量，圆形容栅传感器用于角位移的测量。 各种容栅测量装置 各种容栅卡尺（续） 各种容栅数显卡尺（续） 各种容栅数显卡尺（续） 容栅数显卡尺的结构 容栅数显测高仪 组成：磁栅传感器主要由磁尺（磁栅）、磁头和信号处理电路组成。 工作原理：磁栅上录有等间距的磁信号，它是利用磁带录音的原理将等节距的周期变化的电信号(正弦波或矩形波)用录磁的方法记录