射频功率测量中的匹配网络优化设计1．研究背景.PDFVIP

射频功率测量中的匹配网络优化设计 张烁，工物62，清华大学工程物理系 摘要： 测量射频功率的目的是了解射频放电中等离子体吸收的功率。通常假设与放电装 置匹配的网络是理想的，即匹配网络不损耗功率。然而实际电路中的器件是非理想的， 因此通常会有大量的功率损耗在匹配网络中，降低了功率传输效率。等离子体吸收的 功率应等于电源输入整个网络的功率减去匹配网络消耗的功率。本文中，在电源频率 为13.56MHz 的条件下，借助Smith Chart 软件进行元件参数选择，利用功率最大传输 原理和各种等效网络，计算三种典型的匹配网络消耗的功率，及功率传输效率。进而 与实验结果相比较，分析计算结果的可靠性。结论是，在给定实验条件下，输入相同 的电压，第一种π型网络的性能最好，功率传输效率最高。但在实验中，功率传输效 率远低于理论值，文中也对这一现象的原因进行了分析。 关键词： 等离子体，射频放电，功率测量，匹配网络 1． 研究背景 在带有两个平板电极的放电腔室中充入氩气、氖气等气体，由射频电源驱动，在 腔室中就会产生放电现象，生成等离子体。这种放电方式称为射频容性放电。一般情 况下，容性放电是由一个内阻为 50 欧姆，频率为 13.56MHz 的射频电源驱动的。放 电装置如图1 所示。 图1.容性放电发生装置示意图：1-平板电极，2-放电腔室，3-探针，4-离子泵，5-不锈 钢真空腔室，6- 门阀，7-涡轮泵，8-机械泵，9-氩气瓶，10-离子泵控制系统，11-气压 控制器，12-流量监视器，13-气体调节器，14-流量传感器，15-电控阀门，16-1Torr 容性压力计，17-10Torr 容性压力计。 1.1 射频放电中引入匹配网络的原因 尽管人们更关注等离子体内部的动力学过程，但用于探测其放电时的外部电参数（电 压、电流、功率、相移等）的电路设计也是至关重要的。在容性放电实验中，射频功率源 的内阻为 50 欧姆，而电容耦合等离子体的等效阻抗呈容性。若将射频电源直接与放电装 置连接，电源功率并不能有效地传递给等离子体。因此，在射频电源与放电腔室之间连入 匹配网络，希望使电路的总阻抗呈阻性，并且与电源内阻相等。 为了应用最大功率传输原理对电路进行分析，将等离子体等效为负载，阻抗为 ，如图2 示。其中 是等离子体的等效电阻， 是等离子体的等效电抗， Z d R d +jX d R d X d 1 C 是放电腔室器壁产生的杂散点容，难以量化，在本文中忽略不计。 同时，由Thevenin stray 定理，将射频电源等效为一个复幅度为Vs 的理想电压源和电源内阻Rs 串联组成。如图示： Rs Irf Vs jXd ~ Vrf Cstray Rd 功率源 匹配网络 等离子体 图2.射频功率源与等离子体匹配的等效网络 流进等离子体的时间平均功率为 1 ~ ~ P R (V I ) (1) 2 e rf rf ~ ~ ~ 其中 是加在等离子体两端的