薄膜技术与薄膜材料复习重点.pdfVIP

薄膜技术与薄膜材料 一.考试题型 名词解释（10*2=20 ） 判断题（10*1=10 ） 多项选择题（8*2=16） 简 答 题 ( 5*8=40) 论述题（1*14=14 ） 二.重 点 1.薄膜的定义 17.等离子体的定义 2.气体平均自由程 18.影响产额（溅射）的因素 3.真空泵的种类 19.磁控溅射的原理、过程、优缺 4.真空的测量、真空度有哪些 点 5.检漏技术有哪些 20.各类溅射法适用于制备何种 6.CVD定义、制备过程、条件、 材料 输入现象 21.什么叫靶材中毒 7.CVD 反应动力学、热力学 22.薄膜的生长过程 8.溶胶凝胶的基本概念、原理、 23.薄膜的生长过程的影响因素 水解与缩聚反应