异质引晶在高效多晶硅铸锭中的应用要点分析.pdfVIP

10th CSPV 主题：晶硅材料制备技术、硅片加工和装备 异质引晶在高效多晶硅铸锭中的应用 1,2 1 2 2 1,2 尹长浩 ，董慧 ，周绪成 ；钟根香，黄新明 1) 南京工业大学；2)东海晶澳太阳能科技有限公司 November 6, 2014 目录 1、研究背景 2、实验方法 3、结果与讨论 4、结论 2 November 6, 2014 1. 1研究背景 当前高效多晶硅铸锭存在两个分支 半熔铸锭技术 全熔铸锭技术 半熔高效多晶 准单晶 普通全熔多晶 全熔高效多晶 性价比决定：目前业内的主流铸锭技术：半熔高效、全熔高效 3 全熔高效和半熔高效存在三点区别 第一：少子寿命分布差别 半熔高效由于底部剩余籽晶的影 全熔高效少子寿命分布 半熔高效少子寿命分布 响，底部低少子寿命区较宽，铸 锭得率低，导致半熔高效铸锭成 本高于全熔高效。 第二：硅片缺陷密度差别 全熔底部红区：＜35mm 全熔位错比例较高，因而导致电 半熔底部红区：＞45mm 池光电转换效率较低。 第三：全熔高效底部粘埚比例较 高效全熔硅片PL 图 半熔硅片PL 图 高。 4 1.2 研究内容 主要讨论全熔高效铸锭的引晶机理 简要讨论全熔高效铸锭的粘埚问题 给出目前的实验 5 2. 实验过程 方法一 方法二 籽晶：石英颗粒 籽晶：改性复合球 50%SiC 提高密度 坩埚底部粘附石 制作改性复合球 表面局部包覆氮 英颗粒 化硅涂层 50%SiO2 粘合 喷涂氮化硅涂层 铺设于坩埚内部 喷涂氮化硅涂层 装料入炉 装料入炉 铸锭