MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展_冯辰_刘同冈_商金玮_赵志强.pdfVIP

第 ５ 卷 第 期 微纳电子技术 Ｖ ３ ８ ｏｌ．５３ Ｎｏ．８ 　 　 年 月 ２ ２０１６ ８ ＭｉｃｒｏｎａｎｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃＴｅｃｈｎｏｌｏ Ａｕ ｕｓｔ ０１６ 　 ｇｙ ｇ 　 　 櫴 毷櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴毷 ＭＥＭＳ与传感器 毷 櫴 櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴櫴毷 ＭＥＭＳ微摩擦磨损仪器的研究进展 ， ， ， 冯 辰 刘同冈 商金玮 赵志强 　 （ ， ） 中国矿业大学机电工程学院 江苏徐州 ２２１１１６ 　 摘 ： ， （ ） 器 ， 要 相对于传统机械而言 微机电系统 ＭＥＭＳ 件的摩擦磨损问题显得更加突出 对 ， 。 ＭＥＭＳ的摩擦磨损进行研究 并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键 针 微观 ， ， 对开展 ＭＥＭＳ 摩擦磨损研究的需要 概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器 包括扫描隧道 ） ） ） 显微镜 （ 、原子力显微镜 （ 、摩擦力显微镜 （ 等探针类实验装置以及球 盘 ＴＭ ＦＭ ＦＭ － Ｓ Ａ Ｆ 、 、 ， 式 销 盘式 针 盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置 着重介绍了它们的工作原理 － － 。 ， 。 和适用对象 并根据ＭＥＭＳ技术的发展现状 对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望 ） ： （ ；微 ； ； ； 关键词 微电子机械系统 ＭＥＭＳ 摩擦磨损 摩擦副 测试仪器 分辨力 中图分类号：