第2章应变式传感器.pptVIP

1.筒式压力传感器 ? 筒式压力传感器的弹性元件如图2.32所示,一端肓孔,另一端有法兰与被测系统连接。当应变管内腔与被测压力相通时,圆筒部分周向应变为 式中,p为被测压力,D为圆筒外径,d为圆筒内径。在薄壁筒上贴有两片应变计作为工作片,实心部分贴有两片应变计作为温度补偿片。 图2.32 筒式压力传感器的弹性元件 AK-1A 应变式压力传感器 外壳和膜片一体结构，体积小，平膜片感压。 该款产品可以用于气压、液压的测量。 膜片式压力传感器 2.膜片式压力传感器 该类传感器的弹性敏感元件为一周边固定的圆形金属平膜片,如图2.33(a)所示。当膜片一面受压力p作用时,膜片的另一面(应变计粘贴面)上的径向应变εr和切向应变εt为 式中,R为平膜片工作部分半径，h为平膜片厚度，E为膜片的弹性模量，μ为膜片的泊松系数，x为任意点离圆心的径向距离。 图2.33 膜片受力时的应变分布和应变计粘贴 在膜片中心即x=0处,εr和εt均达到正的最大值,即 而在膜片边缘,即x=R处,εt=0,而εr达到负的最大值 (最小值)。 3.组合式压力传感器 ? 组合式压力传感器,如图2.35所示,通常用于测量小压力。波纹膜片、膜盒、波纹管等弹性敏感元件感受压力后,推动推杆使梁变形。电阻应变计粘贴于梁的根部感受应变。因为悬臂梁刚性较大,所以这种组合可以克服稳定性较差,滞后较大的缺点。 图2.35 组合式压力传感器 2.7.4 应变式加速度传感器 应变式加速度传感器如图2.36所示。在一悬臂梁1的自由端固定一质量块3。当壳体4与待测物一起作加速运动时,梁在质量块惯性力的作用下发生形变,使粘贴于其上的应变计2阻值变化。检测阻值的变化可求得待测物的加速度。图中,5为电引线,6为运动方向。 图2.36 应变式加速度传感器 由端部固定并带有惯性质量块m的悬臂梁及贴在梁根部的应变片、基座及外壳等组成。是一种惯性式传感器。测量时，根据所测振动体加速度的方向，把传感器固定在被测部位。当被测点的加速度沿图中箭头所示方向 L 应变片 质量块m 弹簧片 外壳 基座 a 应变式加速度传感器 时，固定在被测部位。当被测点的加速度沿图中箭头所示方向时，悬臂梁自由端受惯性力F=ma的作用，质量块向箭头a相反的方向相对于基座运动，使梁发生弯曲变形，应变片电阻也发生变化，产生输出信号，输出信号大小与加速度成正比。 假设悬臂梁为如图2.29所示的等强度梁,作加速运动时梁根部的应变为 其中,W为惯性块质量;G′为等强度梁折算到自由端的等效质量,一般为梁质量的1/6,其余尺寸如图2.29所示。 ? 加速度传感器的灵敏度M表示加速度为1g时梁上下两个应变计应变量。若梁的上下各贴一应变计,组成半桥,则灵敏度是梁应变的两倍,即 若梁的上下各贴两片应变计,组成全桥,则灵敏度又是上式的两倍。 传感器的固有频率为 传感器实例 Magnetic field induced strain Stress induced strain 案例：科研上测量微应变 Bk-2b型测力/称重传感器 在传感器的两臂内放置有若干应变计，当传感器受力时，两臂发生形变，应变计感知其变化，基本上是电阻变化，中间处，设置需要的电路，将电阻变化引起的电压变化输出，即可测出相应力的变化。 MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子如TPMS、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器（TMAP）、柴油机共轨压力传感器。消费电子如胎压计、血压计、橱用秤、健康秤，洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器，空调压力传感器，洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳能热水器用液位控制压力传感器。工业电子如数字压力表、数字流量表、工业配料称重等。 典型的MEMS压力传感器管芯（die）结构和电原理如图7所示，左是电原理图，即由电阻应变片组成的惠斯顿电桥，右为管芯内部结构图。典型的MEMS压力传感器管芯可以用来生产各种压力传感器产品，如图8所示。MEMS压力传感器管芯可以与仪表放大器和ADC管芯封装在一个封装内（MCM），使产品设计师很容易使用这个高度集成的产品设计最终产品。 P900系列高性能金属应变式压力传感器 原理： 标准产品使用17-4PH不锈钢膜片感测压力(Inconel不锈钢膜片及其结构可应用于抗腐蚀环境)。压力传动杆 将钢膜片的形变传送至悬臂梁，使悬臂梁产生形变，从而