单晶炉等径控制方法说明书.pdfVIP

． 1992年第 6期 LsI制 造 与 测 试 第十三卷 1 c，c『 单晶炉等径控制方法 I r6 ／ 耀 飞黔 擅 要 等径控制枝术是晶体生长设备割遣中的重要关键技术。本文就等径 生 长 的 条 件、控制难点以厦对直径信号的测量，热场设计等相关要求，提 出7等径生长控制 器的基拳彤式及控制方法。 件，就必须对晶体生长等径控制的机理做深 一 、 前言 入的分析和研究，并通过实践来确定。 单晶炉等径控制效果是衡量单 晶炉技术 =，量体等径生长的条件和控爿的难点 先进性的一个重要指标。现代单晶生长设备 在 电气控制方面的关键技术体现在两个主要 众所周知，晶体要能够等径生长的条件 方面：传感器技术和控制方法。 是：在晶体生长的固液交界面上的热交换要 单晶炉中参与等径控制的相关部分主要 保持平衡，即 有：温度控制器、晶升速度控制器，直径测 Q嗳柱=Q耗散 量传感器和 由计算机为核心的等径生长控制 但在不加控制的场合下，是不可能保持这种 器 。直径测量传感器测出的实际直径与设定 平衡的。这主要有 以下几方面原因： 直径的偏差经等径生长控制器运算后向温度 1． 随着晶体的不断生长，散热增加， 控制器和品升速度控制器给出修正信息，在 需要不断提高温度才能补偿耗散热能。 温度和拉速改变的作用下达到控制晶体等径 2． 随着晶体生长过程的进行，热场的 生长的 目的。这是等径控制的基本思想，其 温度梯度会发生变化，使需要补偿的热量成 控制原理如图 1所示。 为一个动态的参量 。 3． 晶体拉速的变化，热场的波 动，冷却条件变化，气体流量的变亿 均会 引起固液交界面脱离平衡状态 。 等径控制的主控参量应是晶体固 液交界面的热平衡，控制的途径是通 过改变加热器妁功率来控制这种热平 衡，这种控制作用是间接的。加热器 田l 等径控悄基率原理 功率的改变最终要作用在固液交界面 但在控钎的实施中，根据不同的晶体生长条 上，而这种作用受到两方面的限制； 件，其控制方法上有很大的差别，要能够使 1． 熔体的热容量很大，加大了热量传 晶体生长等