1Slider工序简介.pptVIP

A Brief Introduction To Slider Manufacturing Process;课程大纲;一、Slider 生产相关图形说明;一、Slider 生产相关图形说明; Row Bar Row Bar 由Block 切割而成，一条完整的Row Bar 由不同的Slider组成，对Row Bar 进行BackABS 不同工序的加工后，最后切割成Slider 。 ;一、Slider 生产相关图形说明;二、图形说明Slider生产过程;三、 Slider生产五大工序;Throat Height Grinding 喉节高度研磨;四、 Slider生产工序介绍;一、Wafer Machining(Wafer 机械加工阶段)主要工序介绍;一、Wafer Machining(Wafer 机械加工阶段)主要工序介绍;一、Wafer Machining(Wafer 机械加工阶段)主要工序介绍;;一、Wafer Machining(Wafer 机械加工阶段)主要工序介绍;BBS/Row Bow Sorting 对两面磨后的Block重新固定在夹具上， 加热冷却后进行弯曲度测量，以衡量一条Row Bar上所有slider的排列的直线性状况。 Throat Height Grinding 对来料进行ABS面研磨，使其喉节高度保持在规定范围内，以方便RLG工序的研磨，此为粗磨过程 ，它以 Row Bar 上表侧Lap Mark为测量点。 ;一、Lapping Machining(研磨机械加工阶段)主要工序介绍;二、Lapping Machining(研磨机械加工)主要工序介绍;二、Lapping Machining(研磨机械加工)主要工序介绍;二、Lapping Machining(研磨机械加工)主要工序介绍;三、Vacuum(真空)主要工序介绍;三、Vacuum(真空)主要工序介绍;EBS(Enhanced Bar Bonding System) 此工序目的在于将一定量的Row Bar粘接到夹具上，为后道工序作准备，并用环氧树胶保护Row Bar 的Bond Pad，防止离子蚀刻工序中出现坏品。 其步骤是：准备盘形夹具，由P-EBS机或S-EBS机先在夹具上涂一层胶水，然后将Row Bar 粘到Jig上。然后将Row Bar放在夹具上加热20分钟，以使Row Bar 牢固的粘到夹具 上，并对其冷却固化。 ;黄房工序 Lamination( 过菲林) 通过层压机，加热后，在Row Bar Bar的ABS面覆盖一层具有感光特性的菲林，目的在于保护ABS面不需要离子蚀刻的部分，以防被蚀刻。;黄房工序 Exposure( 曝光) 通过步进式曝光机，将Reticle上的Pattern投影到ABS面上，同时使菲林发生化学变化。 ;黄房工序 Development (显影) 将Row Bar 固定在显影机中，用碳酸钠冲洗Row Bar 表面，未感光的菲林被溶解并冲洗掉，最后只留被菲林覆盖ABS面。 ;Ion Milling (离子蚀???) Ion Milling即离子束蚀刻，属于一种对薄膜进行超精细加工的工艺，由氩气离子在磁场作用下对Row Bar 表面进行物理溅射，从而将末覆盖菲林部分蚀刻掉，形成通气槽，此过程为物理过程。 ;三、Vacuum(真空)主要工序介绍;四、Row Machining(磁条机械加工阶段);五、PQC检查(外观检查和QA抽检);The End