铁电超晶格(薄膜)简介.pptVIP

* 铁电超晶格(薄膜)简介 * 超晶格 半导体超晶格的层状结构 1970年IBM实验室的江崎和朱兆祥提出了超晶格的概念他们设想如果用两种晶格匹配很好的半导体材料交替地生长周期性结构，每层材料的厚度在100nm以下 电子沿生长方向的运动将会产生振荡，可用于制造微波器件． 电子 两种不同组元以几个纳米到几十个纳米的薄层交替生长并保持严格周期性的多层膜 特定形式的层状精细复合材料 * 介电（铁电）体超晶格 1935年出生，九三学社社员，现任南京大学固体微结构国家重点实验室学术委员会主任，材料科学研究所所长 1986年提出“介电体超晶格”材料的概念，经过近3年探索，闵乃本和学生朱永元教授等建立了“准周期超晶格”的理论。 2005年，课题组利用自行研制的介电体超晶格，研制成功全固态超晶格红、绿、蓝三基色和白光激光器，并制出样机，取得了4项国内发明专利和1项美国发明专利。 * 产品广泛应用于太阳能光电、微电子、光电子、MEMS（微机电系统）、传感器、半导体发光照明工程等领域 MBE，PLD，ALD * 为什么研究铁电体超晶格 实现光子的调控 BaTiO3 压电热点电光……材料 热电探测器 薄膜电容器 非易失MRAM 表面声波元件…… * 计算的前期工作 张应力 压应力 例如：SrTiO3，LaAlO3，SrRuO3…… 超晶格 衬底 * BST BST Granzon等设计一个试验方