第6章 位移及速度检测 位移及速度是描述物体运动的量,可将其称为运动量。 运动量是最基本的量,运动量测量是最基本、最常见的测量,它是许多物理量,如力、压力、振动等测量的前提。 位移分线位移和角位移。 速度分线速度和角速度。 6.1 电感式传感器 电感式传感器是利用被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化,导致线圈电感量改变来实现测量的。 电感式传感器的工作基础:电磁感应定律 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 电感式传感器亦可称为自感式传感器或可变磁阻式传感器。 传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料制成。 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 工作原理:铁芯和衔铁之间有气隙,传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时,气隙厚度δ发生改变,引起磁路中磁阻变化,从而导致电感线圈的电感值变化,因此只要能测出这种电感量的变化,就能确定衔铁位移量的大小和方向。 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 上式中, Rm为磁路总磁阻。气隙很小,可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损, 则磁路总磁阻为 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻, 即 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 将以上各式联立,即得到: 上式表明:当线圈匝数为常数时,电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数,改变δ或A0均可导致电感变化。 变磁阻式传感器可分为变气隙厚度δ(变间隙式)的传感器和变气隙截面积A0的传感器以及 同时改变δ和A0的电感传感器(螺管式)。 6.1.1 电感式传感器的工作原理及分类 电感式传感器的分类: 6.1.2 电感式传感器的输出特性 当衔铁处于初始位置时,初始电感量为 当衔铁上移Δδ时,传感器气隙减小Δδ,即δ=δ0-Δδ, 则此时输出电感为 6.1.2 电感式传感器的输出特性 当Δδ/δ01时,进行泰勒级数展开 可求得电感增量ΔL和初始电感L0的相对增量ΔL/L0的表达式,即 6.1.2 电感式传感器的输出特性 同理,当衔铁随被测体的初始位置向下移动Δδ时,有: 对上列等式作线性处理,可得: 6.1.2 电感式传感器的输出特性 结论: 变气隙型自感式传感器的灵敏度较高; 非线性严重,自由行程小,制造装配困难。 适用于测量微小位移场合。 6.1.2 电感式传感器的输出特性 二、变截面型电感传感器 保持磁导率μ和气隙长度l固定不变,只改变气隙有效截面积S,即以S作为传感器的输入量,可以制成变截面型自感式传感器,常用于角位移的测量。其结构原理如上图所示。 6.1.2 电感式传感器的输出特性 变截面型自感式传感器其转换关系是线性的;同时,其灵敏度K为常数。 变面积式传感器在忽略气隙磁通边缘效应的条件下,输出特性呈线性,因此可得到较大的线性范围。与变气隙式相比较,其灵敏度较低。 6.1.2 电感式传感器的输出特性 三、螺管式电感传感器 磁场分布不均匀,理论上分析较困难; 由实验可知输出为非线性关系,且灵敏度较低; 测量范围广; 结构简单,装配容易,且螺管可做得较长,故宜于测量较大的位移。 6.1.3 差动电感传感器原理 为了提高测量的灵敏度,减小非线性误差,实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。 6.1.3 差动电感传感器原理 当衔铁向上移动时,线圈总的电感变化量ΔL 对上式进行线性处理,即忽略高次项得 6.1.3 差动电感传感器原理 灵敏度K为 从上列各式可以得到: 差动变间隙式自感传感器的灵敏度是单线圈式传感器的两倍。 单线圈是忽略 以上高次项,差动式是忽 略 以上高次项,因此差动式自感式传感 器线性度得到明显改善。 6.1.3 差动电感传感器原理 与单边式相比,差动电感传感器有如下优点: 1.灵敏度提高一倍; 2.具有温度自补偿作用,抗外磁场干扰 能力强; 3.电磁吸力相互抵消,线性度高。 ? 6.1.4 电感式位移计 一、轴向电感式位移计的结构 二、电感式位移计的测量电路 A、B两点的电位差即输出电压 1.衔铁处于中间位置时,输出电压为 2.衔铁向上移动时,输出电压为 3.衔铁向下移动时,输出电压为 6.1 电感式传感器 电感式传感器与其它传感器相比,具有以下特点: 结构简单,工作可靠,测量力小; 分辨率高,能测量0.1μm甚至更小的机械位移,能感受0.1角秒的微小角位移; 重复性好,线性度高。在一定位移范围内,输出线性度可达±0.1%,且比较稳定。 其主要缺点是存在零点残余电压,灵敏度、线性度和测量范围相互制约,传感器自身频率响应低,不适用于快速动态测
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