薄膜物理复习提纲剖析.docx

薄膜物理复习资料0 绪论薄膜的定义。由原子、分子或离子沉积在基片上所形成的二维材料。薄膜的分类，从功能和应用领域、电导率、磁导率三个不同方面来分，可分为？按功能和应用领域分为：电学薄膜：导电、电阻、半导体、介电、压电、铁电、超导、光电、传感、磁电、光能、电光。光学薄膜：减反射、反射、分光滤光、光存储。工程薄膜：耐腐蚀、防磨损、热传导、润滑。生物医学薄膜：抗菌杀毒、生物活性装饰包装薄膜：金、仿金TiN、铝箔按电导率（）分有：金属薄膜 （2）半导体薄膜 （3）绝缘体薄膜 （4）超导体薄膜 （5）光电薄膜等按磁导率（u）分有：（1）磁性薄膜 （2）非磁性薄膜3. 薄膜的制备技术有哪些类，每一类有哪些制备方法？ 气相法：物理气相法：蒸发、溅射、离子镀 化学气相法：金属有机物化学气相沉积，低压化学气相沉积等 液相法：溶胶—凝胶法、金属有机物分解法 氧化法：原子层沉积离子注入法：扩散法：1 真空技术基础第一节 真空的基本知识真空的定义，真空状态下的气体处于平衡时，描述气体性质的气体状态方程为？所谓真空是指低于一个大气压的气体空间P=nkT 或 真空的单位有哪些？相互之间的换算关系为？帕斯卡（Pa） 托（Torr） 1Torr=133.322Pa毫米汞柱（mmHg） 1mmHg=133.322Pa巴（bar） 1bar=真空度（或真空