[仪器仪表标准]JBT 6842-1993 扫描电子显微镜试验方法.pdfVIP

中华 人 民共 和 国机械 行业标准 JB/T6842一93 扫描电子显微镜试验方法 1993一07一09发布 1994一01一01实施 中华人民共和国机械工业部 发布 中华人民共和国机械行业标准 JB/T6482一3 扫描电子显徽摘 试验方法 代替ZBY3D4一85 1主题内容与适用范围 本标准规定了扫描电子显微镜以〔下简称扫描电镜)的试验方法。 本标准适甫于扫描电镜主机性能的试验。 2 弓1用标准 GB 7667 电子显微徽X射线泄漏剂量规定 ZRN 3O005 电子光学仪器包装通用技术条件 IB/T5384 扫描电子显徽镜技术条件 JB5517 光学仪器电气防护基本安全要求 3试验条件 3.1试验的环境条件为: a 环境温度 20士5℃奋 ‘ b 相对湿度 不超过 07%; 供电电源 单相22吞上2y2 、50土IHz 三担明咚士3v8、05土HI·;_ d.具有独立接地线.其接地电阻不超过n4斋 e.试验室的杂散磁场不超过5x01，T; f.试验室应无频率为后泛饱。H: ，振幅超过知m的展动; 9.水冷系统的流量不低于21/二ni，压力不据子4.gx1P0.a.水温不高子225七。 3.:在测试电性能时，项热时间不得超过6omi公 4 技术性能试验 4.1分辨力 41.1试验设备 a.十倍读数放大镜; b.灰度等级卡; c.。一125mm，测量护度为。02·咖的游标卡辰石 机械工业部1993一0--709批准 1994一1司1实施 JB/T6842一93 112 试验祥品 。表面蒸金碳片; b 表面蒸金邀带。 4工3 试验程序 4‘31根据不同堆型打簿组蓑为分辨学拍称声翔服湘左的放大洛率，拍摄表髦分辞力照片。测得间隙 宽度的最小值。(见图)1 可1忿询滚宽度示意图 4，.3:表证分辨力的照片燕赫具有，级灰度等级标准中不低于三级赞截声照片上不应存在明显的 毛列 4 133 表证分辨力照片互有两乡眨似上，吞拍摄挂程中决许改变卫作条法口 4 13 4 在放大到照相炎无屏图象尺寸的表征分辨力的照片上，街出何距篆小由两个间凉(它们的法 线之间夹角必须大于6。’)测定其宽度，按下式计算分辨力值。 、=今丈10..一，’’’一 (1) 少1 式中:A— 分辨力直 a— }司凉宽度. M— 拍摄时放大倍率。 42 放大涪率 421试验设备 0一犯smm，情度为。.魄， 的游标卡威 422 试验祥品 a 蒸金方网格光栅; b.蒸金塑料球 123试验程序 423.1在标称最低倍率和括摄分辨力的倍率上，以及两者之间任性与个涪鱼亡共五个倍率) 各拍摄 一张照片进行测定。 42.32 在测定高于含歹鲤吵鲜矜率时流吵鲍的参考作对比。 4 2 3.3 放大倍率按下式计算 宕福 J .J ‘.门少. ，峨户，尽.侧，抽 之产甲钾