D、菜单讲解: F1:单品种全自动切割 按下此键后,系统进入单品种全自动切割准备状态,再按下快捷键NEW CST、START,机器将按F4菜单中设置的程序进行单品种全自动切割 F2:多品种全自动切割 跟F1相类似,只是F1切割过程中程序不变,而在F2中,可以设定料盒中有不同的产品,不须中途全自动结束更改程序(例如:EAGLE的CCD与TG可以放在同一个料盒中切割) * F3:手动操作 F3.1进料:进行刀片基准线校准或其他机器维护时需要先进料至工作盘 F3.2影像教读 F3.3校准 F3.4自动切割 F3.5半自动切割:通常在此程序下切不整片的晶圆 F3.6将晶片移至清洗盘 F3.7清洗 F3.8出料 F3.9外形识别 F3.10执行程序控制表(切割除外):将F3.2影像教读自动进行一遍,但不进行切割 * F4:型号目录(有关切割参数的设定) F5:刀片参数维护 F1 刀片更换:进入此程序后,切割轴和切割水自动关闭,以便进行更换刀片的工作。当然也可以按下快捷键SPNDL和CUT WATER来关闭切割轴和切割水后进行更换,不过没有前一种方法安全,因为前一种情况下如果按下SPNDL后转轴不会转,后者则不然 F2 刀片破损装置检测:在此程序下擦干净刀片破损装置检测敏感器,然后按规定调整敏感器 F3 测高方式:包含非接触、工作盘校准、敏感
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