金属氧化物气敏传感器课件.pdfVIP

第6卷 第5期 广州大学学报 (自然科学版) V0l_6 No．5 2007矩 10月 JournalofGuangzhouUniversity(NaturalScienceEdition) Oc【． 2007 文章编号：1671-4229(2007)05-0042-05 金属氧化物气敏传感器 刘湘军 ，谭湘倩 ，浣 石 (1．湖南大学 化学生物传感与计量学国家重点实验室，湖南 长沙 410082；2．广州大学 商学院， 广东 广州 510006；3．广州大学 512程抗震研究中心，广东 广州 510405) 摘 要：根据检测气体的种类、组成成分和工作原理对气体传感器进行 了分类，并详细介绍了金属氧化物的气 敏机理和纳米技术对材料气敏性能的影响；着重从物理方法和化学方法两个方面介绍金属氧化物纳米颗粒的 合成；探讨 了气体传感器的发展方向． 关键词：气体传感器；纳米颗粒；金属氧化物；气敏材料 中图分类号：TP212 文献标识码：A 现代工业的发展一方面为人类创造出巨大的财富，另 等电阻式金属氧化物为基底材料制成的半导体传感器．半 一 方面却给生态环境带来严重的污染．工业生产中气体原 导体气体传感器在众多的气体传感器中，是发展最快、应 料和废气的种类和数量随着工业的发展而越来越多．这些 用最广的一种．自1962年，日本学者Seiyama等人首先报 气体中，有毒性气体和可燃性气体不仅污染环境，而且有 道了半导体金属氧化物的气敏特性_3J，并进一步做了理论 产生爆炸、火灾、使人中毒的危险．对这些气体迅速准确地 研究 ，他们首先导入了“气体检测器”(GasDetector)的 检测将有效地防止此类恶性事件的发生．因此，气敏传感 概念．之后，各国研究者相继在这方面做了大量工作． 器的研究与应用变得越来越重要了．近年来，结合纳米技 术研制成功的金属氧化物传感器，以其较高的灵敏度和选 2 金属氧化物半导体的气敏机理 择性，良好的稳定性和恢复性，以及使用寿命长等优点，被 广泛应用于有毒气体、可燃可爆气体、工业废气等气体的 金属氧化半导体的气敏特性，是在一定温度下半导体 检测中． 化合物跟所接触的气体 (氧化性或还原性)发生反应而导 致电阻值发生变化的现象 j．金属氧化物半导体气体传 1 气体传感器的分类 感器根据气体与金属氧化物气敏材料作用位置的不同，可 分为表面控制型 和体相控制型． 环境中需要检测的气体种类繁多，由于所检测气体的 表面控制型金属氧化半导体气敏材料的表面存在许 种类、组成成分等不同，其检测方法也不大相同．根据被检 多活性中心，空气中氧分子吸附在金属氧化物半导体的表 测和控制气体对象，气体传感器可分为：可燃性气体传感 面，并从其表面获得电子而形成化学吸附的02-、0一、0卜， 器、有毒有害气体传感器和氧传感器等。’,23． 结果表面电阻增加．当还原性气体作为被检测气体与气敏 根据气体传感器的工作原理及制作材料，气体传感器 元件表面接触时，这些气体与化学吸附氧进行反应，导致 又可分为半导体式气体传感器、固体电解质气体传感器、 氧原子捕获的电子重新回到氧化物表面中去，表面电阻下 接触燃烧 (亦称催化燃烧)型气体传感器、表面声波气体 降．当氧化性气体作为被检测气体与气敏元件表面接触 传感器、伏安特性气敏传感器、浓差电池式气敏传感器、石 时，这些气体与化学吸附氧进行反应，导致表面吸附的 英谐振式气体传感器、光学式气体传感器等．其中半导体 02-、0一捕获更多的电子而形成更多的0 使表面电阻 气体传感器又可分为金属氧化物半导体气体传感器和有 升高． 机半导体气体传感器．金属氧化物半导体气敏传感器以其 体相控制型金属氧化半导体其原子(离子)组成不满 检测范围宽、稳定性好、寿命长、响应迅速等优点得到广泛 足化学计量比，且其化学性