UMSG107-1000W射频电源使用说明书(07修正版).docVIP

UMSG107-1000W型射频电源及匹配器 使 用 说 明 书 编 制：何 学 飞 审 核： 批 准： 2007年10月 UMSG107-1000W型射频电源及匹配器 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 二OO七年十月 UMSG107-1000W型射频电源 使用说明书 概述 UMSG107-1000W型射频电源包括射频源和射频匹配器。射频源采用石英晶体它激振荡电路产生13.56MHz的射频信号，功率推动级对该信号进行耦合放大推动输出级，功率输出级采用金属陶瓷四极管FU-100F，电子管板极供电采用电抗器调压，电子管与功率源输出电缆之间采用固定的L型匹配网络，确保电子管与电缆之间良好匹配。电缆与负载之间的匹配由可调式L型网络匹配器来实现，匹配状态由通过式功率计指示。本电源具有频率稳定性高、可靠性好、效率高、功率大、体积小、调节方便等特点。 使用环境与条件 电源：~220V/50Hz，＞1.5KVA 环境温度：5℃~40℃ 相对湿度：＜70％ 大气压强：86KPa~106KPa 具有独立的接地点，接地电阻＜4Ω 环境净化等级：优于10000级 主要技术性能 输出功率：100W~1000W逐级可调 频率：13560KHz 板极电压：300V~2500V 板极电流：＜0.5A 板极直流消耗功率：＜1.3kW 阻抗匹配范围