2011_0531_北航_传感器技术及应用_樊尚春_013_to课题.pptVIP

* 仪器科学与光电工程学院 School of Instru. Sci. Opto-electro. Eng. * 传感器技术及应用 传感器技术及应用 主讲教师：樊尚春 教授 北京航空航天大学 第1讲：绪 论 第2讲：传感器的输入输出特性 第3讲：传感器敏感结构的力学特性 第4讲：几种典型的模拟式传感器 第5讲：谐振式传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 第7讲：总 结 ? 课 程 内 容 思考题(第6讲) 1. 如何理解传感器的集成化与智能化？ 2. 微机械传感器与以往传感器的区别。 3. 传感器技术的发展趋势。 第6讲：发展中的传感器新技术 6.1 概述(微型化、智能化、网络化) 6.2 微机械传感器 6.3 智能化传感器 第6讲：发展中的传感器新技术 —— Chap.14 —— Chap.15 6.2.1 概 述 6.2.2 硅电容式集成压力传感器 6.2.3 硅电容式微机械加速度传感器 6.2.4 硅电容式表面微机械陀螺 6.2.5 微机械科氏质量流量传感器 6.2.6 硅谐振式压力微传感器 6.2 微机械传感器 6.2.1 概 述 微传感器的发展 微传感器中应用的材料 微传感器中应用的加工工艺 微传感器中敏感结构的模型问题 微传感器中微弱信号的处理问题 敏感结构 工作机理 特性方程 典型应用 6.2.2 硅电容式集成压力传感器 敏感结构 6.