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2013级硕士研究生“等离子体化学”考试题 一、必答题 1. 等离子体的参数有几个？等离子体中粒子的能量输运有哪些方式和过程？和等离子体的参数关系是什么？等离子体的判据是什么？什么是等离子体震荡及其频率？ 1、 : 等离子体的参数有电子温度、粒子温度、电子密度、离子密度、电离度、德拜长度、振荡频率等，其中粒子温度和密度是等离子体的两个基本参量。 : 等离子体中粒子的能量输运方式主要为粒子的碰撞和光子的吸收。电子与中性粒子、分子之间的基元碰撞过程包括粒弹性碰撞（仅有平动能的交换）、非弹性碰撞（包含内能的变化，如转动能、振动能和电子态等）、电离碰撞、附着碰撞、反应碰撞及其他复杂的碰撞过程。碰撞使一个粒子的动量和动能传给另一个粒子，粒子之间的碰撞使等离子体中产生粒子迁移、动量迁移、电荷迁移及热量迁移等过程。 等离子体的碰撞频率和与粒子的密度成正比。碰撞过程中的粒子的能量和状态变化和粒子温度相关，电子温度是表征电子能量的平均值，当参与碰撞的电子动能低时，只能使基态的振动能和转动能升高，若电子能量较高，就可能把束缚电子由基态激励到高能态，在电子能级发生跃迁的同时还伴随着振动能级和转动能级的跃迁，当电子动能足够高时，就会导致分子的电离或离解。除了电子碰撞引起的激发和电离之外，光子的吸收也会引起激发和电离过程。 : 等离子体的判据为三条： （1）空间尺度： （L-等离子体的空间限度 ，λD-远大于德拜半径） （2）时间尺度： （τ-等离子体存在时间，ωp-等离子体振荡频率） （3）粒子密度限度： （ND-德拜球内的粒子数） ：等离子体电中性被破坏时，由于电场力和惯性力的共同作用产生的空间电荷振荡现象称为等离子体振荡，其振荡频率叫做等离子体振荡频率。 2.按放电类型分类，等离子体聚合中有哪些常用的放电设备？每个装置有何区别和特点？等离子体放电和沉积中常规诊断有哪些？放电区域是如何划分的？ 等离子体的放电类型分为电晕放电、直流辉光放电、高频电流辉光放电、微波放电。直流辉光放电是在两个导电电极（阴极和阳极）之间加上一定的直流电压,放电腔体中的游离电子在电场的作用下，被加速而获得能量，从而与中性气体碰撞电离形成等离子体。直流辉光放电装置的放电腔体几何形状影响放电特性，需要裸露的电极，电极材料对等离子体污染,任何需要等离子体处理的材料置于等离子体中，都将影响等离子体的分布，导致处理的不均匀性。另外，辉光放电等离子体的大部分能量用于材料温度的升高，耗散功率大,参数的独立性也受到限制，处理绝缘材料困难。 射频放电装置 射频放电的耦合方式有电感耦合（ICP）和电容耦合（CCP），同时射频放电按施加高频电场的方式不同，分为外电极式和内电极式。对于外电极式来说，CCP是将环形电极以适当间隔配置在放电管上或者安放在圆形放电管的左右两侧，ICP则用绕在放电管上的线圈代替电极。外电极式无需将金属电极直接安放在放电空间，能够防止因建设现象而造成的污染，从而能够得到均匀而纯净的等离子体，但是由于放电功率会受放电光与电极（或线圈）间耦合程度的影响，很难获得高密度等离子体；对于内电极式放电来说，大多采用平行板型，平行板型放电稳定、效率高、易于获得大面积均匀的等离子体。同时也可以对等离子体施加偏压或者外部磁场提高聚合效率。 微波放电装置有微波表面波装置和微波ECR， 微波放电中，通常采用波导管或波导管天线将由微波源产生的微波耦合到放电管内，气体存在的少量初始电子被微波电场加速后，与气体分子发生非弹性碰撞并使之电离。表面波等离子体不像ECR 或螺旋波等离子体需要磁场部分，结构简单也不存在像普通平板等离子体的电极引起的杂质污染问题产生等离子体密度较高Dielectric barrier discharges DBD） DBD的形成条件为两电极之间有绝缘介质的存在，并且是在交变电场中。DBD能够在高气压105-106 Pa）和很宽的频率范围内工作103-105 V）及较低的电流密度（103-105 V）。DBD为常压下产生低温等离子体的主要途径，并且由于电极间绝缘介质的存在，避免了电晕放电过程中易出现的局部放电或弧光放电。其电极和放电间隙可以为平面型，也可以为同轴圆柱型。介质阻挡层可以为单层或双层，可以覆盖在电极上或悬挂在放电空间中。 等离子体放电中常规诊断有发射光谱诊断、吸收光谱诊断、朗缪尔探针诊断，傅里叶红外光谱诊断、质谱和激光诱导荧光光谱等。 以直流辉光放电为例，放电时沿阴极到阳极方向可划分为八个明暗相间的区域，阿斯顿暗区、阴极辉光区、阴极暗区、负辉区、法拉第暗区、正柱区、阳极暗区和阳极辉光区。如下图所示 3. 对一个给定容积的反应容器，你刚接触，准备用它沉积薄膜，如何确定等离子体沉积(聚合)的参数，如气体抽速、单体流量，反应功率，气压等？温度和位置对等离子体聚合影响的