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常压氩氮射频容性放电冷等离子体的发射光谱诊断论文
第11期 光谱学与光谱分析 2893
3Ⅱu)及氩 min_1)，采用玻耳兹曼斜率法得到的转动温度值。图中使用
如图2所示。从图中可以分辨出强烈的氮分子(C
K(约70℃)。根据
原子(mI)的谱线，在306～310nrn范围内还可以看出0H玻耳兹曼斜率法估算l叶{气体温度值为342
(A—x)谱带，这是由于氩气中含有很少比例的水蒸气，氩此方法，我们得到了不同功率下的气体温度值，如图4(b)所
示。从图中可以看出，气体温度随着输入功率的增加而增
等离子体中的亚稳态Am和水蒸气之问反应产生的(Hz0
w增加到210w时，对应的气体温度从
+Ann—oH+H+Ar)[15]。 加，输入功率从30
342
K增加到523K，温度变化了180K。等离子体的气体温
度是表征等离子体内部做无规则运动的粒子平均平动能的量
度，等离子体温度越高，说明等离子体内粒子的无规则运动
越激烈。相应地，氩／氮放电等离子体内各种粒子参与化学
反应就越激烈。
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5
在氩气／氮气放电中，由于与氩原子的两个亚稳态能级 4
0 10 20 30 40 50
eV)对应的能量比氮的激发态
1s。(11．5eV)和ls3(11．7
．，’‘，’+1)
N。(c
3Ⅱu)的电位高，Nz该激发态的粒子布居数容易受到氩
原子在与N：碰撞时从亚稳态到基态跃迁时发生的能最转移
的影响。因此，在氩气中掺入氮，由于激发态氩原子和氮分 540
3仃。)的粒子布居
子的的碰撞导致发生能量转移，使得N2(c
480
数随着掺杂比例变化，从而会相应的引起
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