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气流质量传感器AWM40000系列放大和不放大-OFweek
气流质量传感器
AWM40000 系列放大和不放大
特点：
●
多个集中安装 形密封圈
/O
● 陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm
● 塑料流量管（无引气管），0-6SLPM
● 高共模压力（150psi）
● 工作温度可至 ˚
12 C
● 零点和满量程高稳定性
系列包括不带放大和放大 信号处理的信号。
AWM40000 / AWM40000 系列选型指南
AWM42150V 和AWM42300 ，使用和AWM2000 相同的电
路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同 AWM42150VH AWM42300V AWM43300V AWM43600V
流量范围 ±25sccm ± 1000sccm +1000sccm +6LPM
的电路。AWM43600V 为6SLPM 器件。
（满量程）
输出电压 8. ± 1.5mV 54.7±3.7mVDC ±0.15VDC ±0.15VDC
图 发热控制电路 @25sccm
1 @ 标定点 @1000sccm @1000sccm @6LPM
0.0± 1.0 mV DC ± ±
零点电压 0.0± 1.0 mV DC 1.00 0.05VDC 1.00 0.05VDC
零点漂移
+25~-2 ˚C ±0.20mV DC
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