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MKS质量流控制器(MFC)1479系列样本En
Ordering Information
SEMI Gas Codes Ordering Code Example: 1479A00411CR1BM Code Conguration
Type 1479A Mass-Flo Controller 1479A 1479A
SEMI Maximum Flow Gas To Be Calibrated For: (SEMI Gas Code) See table for additional options
Name Symbol
Gas Code FS, sccm Rate
Helium 001
001 Helium He 30000 34C Argon 004
004 Argon Ar 30,000 34C Hydrogen 007 004
007 Hydrogen H2 20,000 24C Nitrogen 013
Oxygen 015
008 Air -- 20,000 24C
Flow Rate To Be Calibrated for SCCM (Maximum 20000 SCCM N Equivalent)
013 Nitrogen N2 20,000 24C 2
10 11C
015 Oxygen O2 20,000 24C
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