F．极端条件下的低维材料与器件 - 中国材料研究学会.PDFVIP

F ．极端条件下的低维材料与器件 分会主席：戴亚平、唐永建、陈鸿、王占山、资剑 F-01 戴亚平； 中物院激光聚变研究中心 F-02 极端添加下的低维材料体系与器件 汪小琳； 中国工程物理研究院科技委副主任 极端条件是指极低温、超强电磁场（如强激光、40T 以上的磁场）和超高压等外部环境。涉及的学科 和专业包括微纳米加工技术、低维凝聚态物理、纳米材料科学与技术和低维材料的分析表征等，具有较强 的多学科交叉性和综合性。低维材料体系和器件是当前最活跃的研究领域之一，尤其是在超强电磁场、超 高压和超强辐射等强外场作用下低维体系的特殊现象和效应的产生与应用是人们关注的重点。 F-03 自清洁减反射技术：从表面工程到功能表面 贺军辉； 中国科学院理化技术研究所 本报告主要介绍近年来自清洁减反射技术的研究进展，包括设计原理、研究进展和应用前景，将重点 介绍作者所在课题组在自清洁减反射技术方面所做的部分努力。同时，将指出自清洁减反射技术研究和应 用目前面临的问题和挑战以及今后可能的研究方向。最后，报告将展望自清洁减反射技术潜在的应用前景。 致谢：本报告中介绍的研究工作是在国家高技术研究发展计划(863 计划)项目(No.2011AA050525) 、中国科 学院知识创新工程重要方向项目(KGCX2-YW-370, KGCX2-EW-304-2) 、国家自然科学基金项目(No. ，中国科学院基金项目(CXJJ-14-M38)支持下完成的，特此致谢。 F-04 基于Parylene 薄膜的可植入柔性MEMS 神经接口器件研究 刘景全,康晓洋, 田鸿昌,芮岳峰； 上海交通大学微纳电子系微米纳米加工技术国家级重点实验室 随着医疗电子器件的发展，基于柔性 MEMS 的可植入器件取得了快速发展。体内环境极端恶劣，植 入器件不仅要有良好的生物相容性，而且要耐受体内各种酶的侵蚀。Parylene 薄膜具有良好的生物相容性 和生物惰性，经过FDA 认证属于美国药典USP 6 级材料，属于长期可植入材料。本项目主要基于Parylene C 薄膜材料研制可植入柔性MEMS 神经接口器件。首先采用纳米粒子对Parylene C 薄膜的纳米改性进行研 究，推高Parylene C 薄膜的耐热和抗紫外能力。研制柔性MEMS 神经接口器件，主要包含阵列式微电极和 管状微电极。对微电极表面进行纳米改性，主要采用铂黑、氧化铱和石墨烯及 PEDOT 等。改性后微电极 可有效降低电极表面阻抗一个数量级。在此基础上，针对瘫痪康复和生物机器人，通过动物实验植入柔性 MEMS 生机神经接口器件，验证了柔性MEMS 神经接口器件性能。 F-05 自支撑二值化Beynon-Gabor 波带片的制备及衍射性能研究 张继成； 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 波带片是一种受衍射光栅调制的聚焦元件，由线密度沿径向增加且明暗相间的同心圆环带组成。 Fresnel 波带片最外环尺寸可达 15nm，在红外、紫外以及X 射线波段得到了广泛应用，为天文学、光谱分 析、X 射线成像等诸多领域提供着重要的物理实验信息。然而，Fresnel 波带片因存在多级衍射而具有多个 焦点，这给光谱分析和成像处理带来很大影响，使其应用受到限制。与Fresnel 波带片不同，Gabor 波带片 由正弦形光孔组成，其透过率满足余弦变化，具有单级衍射特性。虽然Gabor 波带片聚焦性能优越，但是 其制作工艺困难复杂，很难满足理想的正弦透射条件。1992 年，T. D. Beynon 提出了二值化Gabor 波带片 的概念，并采用紫外光刻法在玻璃基底上成功制备出该元件，在波长为633nm 的He-Ne 激光下测试了其光 学性能。这一结果为Gabor 波带片在软X 射线波段的应用提供了契机，具有划时代的意义。尽管如此，目 前二值化Gabor 波带片大多采用紫外光刻（UVL ）、电子束光刻（EBL ）技术制备，工艺较为繁琐，而且 波带片以二氧化硅或者聚酰亚胺薄膜作为支撑结构，在极紫外波段、X 射线波段这些衬底对光有极强的吸 收、散射作用，透过率极低，限制了二值化Gabor 波带片的应用。本文以二值化Beynon-Gabor 波带片为基 础，采用聚焦离子束直写技术在金吸收体上成功制备二值化Beynon-Gabor 波带片，该结构无支撑衬底，通 光部分透过率为 1，金吸收体部分透过率为0，真正实现了Gabor 波带片自支撑、二值化的特征，并对所 制备的Gabor 波带片在紫外波段的聚焦性能