在线监测及误差补偿技术.pdfVIP

精密和超精密加工技术 Precision and ultra-precision machining 在线检测与误差补偿技术 1 本章 内容  概述  在线检测与误差补偿方法  微位移技术 2 §1 概述 一、保证零件加工精度的途径 “蜕化”原则、“母性”原则：  靠机床保证加工精度，机床的精度高于所要求的工件 精度。例：齿轮加工，需要高精度的滚齿机、插齿机 、磨齿机等；  限制：制造精密和超精密机床技术难度和投资很大， 随着精度要求的提高，技术难度和投资甚至可能达到 不可能的程度。 “进化”原则，“创造性”原则： 用精度比工件要求低的机床利用误差补偿技术加工出 合格工件。 3 一、保证零件加工精度的途径 如何提高加工精度？ 误差隔离与消除：找出加工中的误差源，采取 相应的措施，使误差减少或消除； 误差补偿：用相应的措施钝化、抵消、均化误 差，使误差减小，是精密和超精密加工中重要 的手段之一。 4 二、加工精度的检测 要进行误差补偿，首要进行精度检测。根据检测的场所 不同，精度检测方法包括： 离线检测  工件加工完毕，从机床上取下，在机床旁或检测室内 检测；  只能检测加工后的结果，不能反映加工中实际情况， 也不能连续检测；  但是检测条件好，不受加工条件的限制，检测精度比 较高；  可充分利用高精度检测仪器，如电容式传感器测头、 扫描隧道显微镜、各类电子显微镜、激光干涉测量仪 等。 5 二、加工精度的检测 要进行误差补偿，首要进行精度检测。根据检测的场 所不同，精度检测方法包括： 在位检测  工件加工完，在机床上不卸下工件的情况下检测。  与离线检测相比，检测结果更接近实际加工情况，避 免了由于定位基准不同造成的检测误差。  检测中发现不合格可以在有余量的情况下返修。  采用在线检测手段的时候要仔细考虑检测仪器的选用 、安装和检测方法，如果要借用机床的运动，则要把 机床的运动误差，在处理数据的时候，将它们分离。 6 二、加工精度的检测 在线检测：在加工的同时进行检测，也称主动检测、动 态检测。  能连续检测加工过程中的变化，了解误差分布和发展 ，为实时误差补偿、预报误差补偿和控制创造条件。  能反映实际加工情况，如加工中的热变形等；离线检 测只能测量冷态下的精度。  其可行性和测量准确性受到加工条件的限制，如传感 器安置、切削液和切屑状况、传感器尺寸及性能等。 因此在线检测难度一般较大。  多采用非接触式传感器，对传感器要求较高。  一般自动运行，形成在线检测系统，包括误差信号采 集、处理和输出、与误差补偿系统连接。因此往往不 是一种单纯的检测方法。 7 二、加工精度的检测 在线检测的两种类型： 从检测对象来看，在线检测有两种：  直接检测系统：直接检测工件误差并补偿之， 信号采集和处理复杂，但是能直接反映加工误 差；  间接检测系统：检测产生该误差的误差源，并 进行补偿