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第二章等径控制的PID参数0.前言由于我们的61，62这两台炉子，因此，本次培训主要以这两台炉子的系统对象，这两台炉子都搞懂了，慧翔的就没问题了。根据以前的培训经验，要掌握本培训的内容难度比较大，本次培训可能需要重复一两次，大家才能真正掌握。1.等径控制内在机制1.1温度决定一切对于同一个温度，其单位时间可生长出来的晶体是恒定的（无论是以体积计，还是以重量计）。当温度过低时，必然是飞速生长，你不让往纵向上涨（即：提高拉速），他就往横向涨（直径长大），总之，是不可阻挡的；当温度太高时，单位时间可生长的晶体的量是有限的，你想拔苗助长（即：提高拉速），它就只能是越来越瘦。温度决定生长速度的根源所在。1.2拉速决定外形温度的变化惯性很大（也就是很缓慢），如果想让它来控制直径，那将是一个彻底错误的策略，因此拉速才是控制直径的合理手段，才能做到快速、高效。1.3拉速和温度的“合作”（1）拉速先稳住阵脚，并给温度发出正确的信号，最终有温度解决问题。（2）温度是基础和舞台，拉速是演员、是明星。温度都搞错了，则大厦将倾，一切都不复存在。温度正确，拉速不争气，还是等于零，就像漂亮的大舞台上，只有蹩脚的演员在表演。2.等径控制原理框图计算机等径控制的输入输出关系，也就是计算机的工作原理，如图一所示。计算机根据四路输入信号：直径Di、拉速SL、计长、拉速曲线（由用户给定），进行一系列的运算后，输出两路控制信号：一路控制拉速，另一路控制温度。在逻辑，计算机被分为两个单元：控径单元（慧翔：等径控制）、控温单元（慧翔：生长控制）。OP是OutPut（输出）的缩写，也就是指经过了复杂的运算之后，最终决定的控制对象的操作。图一　等径控制的输入输出关系温度拉速　　　　ＡＳＵ　欧陆（慧翔：热场控制）计算机温度控制输出信号：温度控制器ＯＰ值拉速曲线控温单元（慧翔：生长控制）计算机系统计算机拉速控制输出信号：直径控制器OP值控径单元（慧翔：等径控制）计长信号拉速信号SL直径信号Di２．两个设定值的来源所谓设定值，就是我的目标。计算机的两个单元各有一个设定值，孔径单元的设定值就是我们的目标直径：控径单元（慧翔：等径控制）的设定值就是我们的设定拉速，设定拉速是由电脑根据计长和拉速曲线计算而得。控径单元（慧翔：等径控制）的目标是把直径控制在设定直径上；控温单元（慧翔：生长控制）的目标是把拉速控制在设定拉速上。2.1控径单元（慧翔：等径控制）的设定值SP其来源比较简单，当我们将控径单元（慧翔：等径控制）投入自动时电脑将此时的实际直径Di抄写下来，作为孔径单元的设定值SP。只要不去修改他（能够修改），在整个自动控制过程中，SP是不会变化的。在采用CCD作为直径信号的系统里，直径设定值可以固定在参数里面，而不是像上述那样现场决定。2.2控温单元（慧翔：生长控制）的设定值SP当我们将控温单元（慧翔：生长控制）投入自动时，电脑将此时的实际拉速值SL抄写下来，作为控温单元（慧翔：生长控制）的设定值SP的起始值（慧翔的系统不是这样）。以后，随着等径长度（计长）的增加，SP是随计长变化的。变化的根据就是用户输入的拉速曲线。这里先解释一下什么是拉速曲线。我们知道，直拉工艺自身的特点要求拉速从头到尾逐步降低，如果以晶体等径长度作为横坐标，拉速作为纵坐标，描绘出拉速随晶体长度的变化趋势图，应该如图形二。在没有计算机自动控制的炉子上，我们通过手动调节温度来达到逐步降温的目的。而在计算机中，编程者给我们提供了方便，我们只需将图二那样的拉速曲线输入到计算机中，计算机会自动地让拉速按我们指定的曲线逐步降低。这一拉速曲线转化为计算机的参数后，其形式如表一所示。作为一个拉速曲线的例子，大家请看表一。表中的晶体长度不是计长，将晶体长度累加后才是计长。序号晶体长度温较速率晶升000-6.00.0001504.00.0002503.0-00-00-00-00-00-0.120820014.0-0.15慧翔的炉子，在拉速曲线的表达上，与众不同。更人性化，使用方便。我们以表一中第四行（序号为03的这行）为例，来说明控温单元（慧翔：生长控制）的设定值是怎么变化的。与这一行对应的计长的起点值为100（计长为前面所有晶体长度累加之和），终点值为300（100+200）。这一行的“晶升”栏为-0.03mm/min，其含义是：在本段长度范围内（也就是等径长度从100变化到300的200长），让设定拉速均匀的降低0.03mm/min。按这一含义，将表一的拉速逐段绘制在坐标图上，就得到了图二所示的拉速曲线。图二中的温度曲线就是将表一中的温较速率所引起的温度OP值变化绘制在图上所得。它代表了晶体生长从头到尾，固定的升温过程。所谓固定的