第十章 高精度紫外探测器定标测试方法.pdfVIP

第 27 卷第 2 期 航 天 器 环 境 工 程 2010 年 4 月 SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING 169 高精度紫外探测器定标测试方法 1,2 1,2 1,2 邵秀梅 ，陈 郁 ，陈新禹 （1. 中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室，上海 200083 ； 2. 中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料和器件重点实验室，上海 200083 ） 摘要：文章研究分析了紫外电学定标探测器的主要光电不等效因素，并建立了基于紫外电学定标探测器的 紫外辐射定标系统。在此基础上，利用紫外探测器定标测试平台，开展了紫外探测器的测试方法研究，响应率 定标的总不确定度为3% ～5% ，相对光谱测试的总不确定度为3%。 关键词：紫外探测器；辐射定标；光电吸收测量；单色仪；辐射计 中图分类号：TH744.42 文献标识码：B 文章编号：1673-1379(2010)02-0169-04 DOI ：10.3969/j.issn.1673-1379.2010.02.009 1 引言 的测量来替代光辐射功率的测量。美国 NIST （当 时为 NBS ）的 Robert J. Phelan 在 1972 年研制出 自20 世纪 90 年代以来，宽禁带半导体材料、 ECPR [3] 。虽然ECPR 的精度没有ESR 高，但其不 发光器件、紫外器件展现出重大应用价值和广阔的 涉及超低温、高真空、超导等先进技术，能在室温 发展前景，随着发光器件和紫外器件的发展与应 下工作，灵敏度高。所以，美国 NIST[4-5]、德国 PTB[6] 用，必须对紫外器件进行精确的光学定标。辐射定 等国际权威计量实验室一直持续着这方面的研究 标主要有两类标准：(1) 基于光源的标准，常用的 工作。 是黑体和同步辐射，红外波段的辐射标准通常采用 对于紫外探测器的定标测试，目前国内相关的 黑体，紫外波段的辐射标准常采用同步辐射光源； 科研机构或生产单位大多采购日本Hamamatsu 公 (2) 基于探测器的标准，主要有自定标探测器和电 替代式辐射计两种，自定标探测器是基于量子效率 司研制并标定的硅器件作为传递工作标准，或采用 达到 100%的探测器[1]，电替代式辐射计（electrical 低温辐射计对硅器件进行标准传递，然后对待测紫 substitution radiometer，ESR ）的原理是光辐照与电 外探测器进行光谱定标或响应率定标测试。合肥国 加热引起同样的温升效应，两者替代升温，当温升 家同步辐射实验室与计量实验站利用光谱辐射标 效应相同时，认为光功率与电功率等效[2] 。电替代 准开展了基于同步辐射光源的紫外辐射定标和紫 式定标的精度取决于电流、电压的精确测量和光、 外探测器定标的相关研究。 电的等价效应。 本文研究的是一种基于紫外电学定标探测器 电学定标辐射计是一种在室温工作的 ESR ， 的紫外辐射定标方法，是建立在