TR211系列校准说明 中文.docVIP

TR211系列真空规使用及校准手册 TR211系列真空规采用残留气体热传导性能在一定范围内与气压成比例的真空测量原理。可配以TM20，TM21，TM22，PM31，CM31，CM32，CM33，以及IT23，IT23DS 等型号的真空度显示仪表来使用。常用的技术参数见下表： TR211 TR212 TR216 测量范围 0.5x10-3mbar~1000mbar 测量体积 11cm3 10cm3 10cm3 允许过载 3bar 10bar 10bar 工作温度范围 0-40。C 本系列真空规允许的最高工作环境温度是80°C。但是，此时的测量精度不能保证，因为这种真空规的温度补偿最高只到40°C。如果真空规将在热辐射很强的环境中工作，必须采取适当的保护措施，以防辐射热通过连接电缆传到真空规探测头而影响其测量精度。 此外，对传感单元的任何污染都将影响它的测量精度，在使用和存储时必须采取措施防止外物进入传感单元，特别是那些像酒精之类的溶剂不能溶解的物质。 真空规上有两个调整电位器，旁边标有“ ” 图标的是满刻度调调整电位器，旁边标有符号“0”的是调零电位器。这两个电位器平时用两个橡胶盖盖着。 下面以TM21为例介绍THERMALVAC T2XX系列真空规的校准方法： TM21 前面板功能简介， TM21 前面板包括一个显示屏和四个操作按钮，显示屏可以以模拟和数字两种方式显示所测得的气压值。数字显示位于显示屏的左上角，采用7段LCD数字显示。模拟显示部分位于显示屏的中部，由25个光条和2个箭头组成。测量单位指示位于显示屏的右上角用户可以通过显示屏下面的“PARA”键和两个箭头键来选择显示单位。仪器出厂设置为mbar. TM21 后面板包括电源插座，RS232接口，以及传感器（真空规）接口插座等。TM21的供电电源可选择为交流110V或交流220V，电压选择设置在电源插座的上部，改变供电电源，可以通过改变保险盒的朝向，使其右边箭头所指的值就是供电电压值。 注意TM20只能使用三芯电源线供电且接地插头状况良好。如果没有接地，仪器可能不能正常工作。 校准步骤： 接好电源线及真空规。 在常压下调整真空规的满刻度调整电位器，使TM21的模拟显示部分满刻度显示，即所有的光条都亮，但最右边的箭头不亮。注意：为了保证稳定而准确的满刻度校正，在最后一段条光条后，需要将电位器顺时针方向再转90度，此时，右边的箭头可能刚好亮。 3 把真空规接到待测的系统上，对系统抽真空直至气压低于10-3 mbar,调整真空规上的调零电位器，使TM21的模拟显示部分正好在0刻度上，即只有最左边的一条光条和箭头亮。 4．使真空系统恢复到常压，重新检查满刻度显示，如果需要，重新调整。注意：如果满刻度作了调整，0刻度也需要重新校正。 LEYBOLD VACUUM 莱宝真空 Service Application Support Vacuum Solutions Beichen Economic Development Area (BEDA) ? Tianjin ? China ? Telephone: +86-22-2697-0808 ? Telefax: +86-22-2697-2017