铁电薄膜化学机制的探讨.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 年 月 文章编号 一 一 一 一 法制备 二 一 二 铁 电薄膜化学机制 的探讨 金承 任 , 丁 永 平 , 孟 中岩 上 海 大 学无机 材 料 系, 土 海 上 海 交 通 大 学 , 上 海 摘 要 用 分析 , 结合 、 、 实 验 结 果 , 展 示 了 一 法制 备 二 戈 , 一 薄膜热演化过 程 的化学机制 研 究表 明 鳌合剂 的引入减缓钦醇 、 、 晶 温 , 而 得 了晶 、 无 纹 盐水解速率 改善 晶化途径 降低结 起始 度 从 制 化 完善 致 密 裂 的 薄 一 词 薄膜 工艺 , 中图分类号 文献标识码 引言 钦酸银钡 一 二 , 简称 系铁 电薄膜兼有 高介 电常数 、 低介 电损耗和 结构稳定 的特 点, 在超 大规模动态 随机 存储器 、 高频 旁路 集成 电容 、 退 藕 电容 、 微波 单 、 【 】 片集成 电路 调谐微波器 件等领域应 用 前景 广 阔 卜 溶胶 一 凝胶技术 以其特 有 的优 越 性 在 制 备 系铁 电薄膜 中广 受青 睐 前驱体 中有 机彼合剂 的使用 , 与高活性 的醇 盐反 应 形 成赘 合络 合物 , 从而 降低 了水解反 应 活 性 , 这 必 将影 响 溶胶 的化 学机制及 其 晶化途径 , 并在 其微观 结构 上 得 以表现 已有文 献提 出 了 工 艺制备 薄膜 中间 固相 反 应途径 的争议性 结论 一种认 为是通过 中间相 和 固态反 应 而 来 , 一种认 为是通过含碳 瞬 时 中间相如 等转化而来 ,’ 论 文作者 曾从不 同赘合剂调制 的 溶胶 的 、 、 、 等综合分析讨 , , 论 了薄膜热演化 中间产物及 晶化过 程