电荷耦合器件及其应用进展 - 仪器信息网.PDFVIP

第 卷 ，第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 ， ， ! ! #$% ! ’$ ! (( )* + )** ! 年 , 月 -(./01$2/$(3 456 -(./014% 754%3282 7(18%，! !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 电荷耦合器件及其应用进展 张展霞 刘洪涛 何家耀 中山大学化学与化工学院，9)!:9 广州 摘 要 电荷耦合器件 （ ）是基于金属 氧化物 半导体 （ ）技术的光敏元件。目前 已具有光谱 ;; + + =- ;; 响应范围宽、检出限低、动态范围宽、暗电流和读出噪声低以及具有积分信号、多道同时检测信号和实时 监测等能力的优点。目前它已经广泛地应用在各个领域。本文扼要介绍了 ;; 的基本工作原理，特点及性 能表征。评述了 ;; 在光谱检测和成象领域中较活跃的应用及发展前景。指出了 ;; 技术的发展给光谱分 析领域带来了革命性的进展。 主题词 电荷耦合器件， 光谱检测， 光谱成象 )A*A 年，美国贝尔实验室 B$3%. 和 -C80D 利用当时已发 括一个输出二极管和一个输出栅，其作用是将 ;; 最后一 展得很好的硅技术研制成第一个 电荷耦合器件 （ ），至 个转移栅下势阱中的信号电荷引出，并检出电荷所运输的信 ;; 今 ;; 技术已发展了三十年。;; 是一种 以电荷量表示光 息。 量大小，用耦合方式传输 电荷量的新型器件，具有 自动扫 ;; 的基本功能是 电荷 的存贮和 电荷 的转移，因此， 描、动态范围大、光谱响应范围宽、体积小、功耗低、寿命 ;; 的基本工作原理是信号 电荷 的产生、存贮、传输和检 长和可靠性高等一系列优点。 测。 ;; 最早应用于天文观察，随着 ;; 技术的发展，现 ! ! 电荷的产生（注入） 今已广泛应用于宇航、遥感、军用设备、自动控制、机器人 当光线投射到 表面的光敏象素（ 电容器）上，光 ;; =- 计算机、雷达、医学、生物、化学等技术和科学领域以及工 子穿过透明电极及氧化层，进入 型硅衬底（一般以 型硅为 F F 农业生产活动中。对其理论和应用研究都显得异常活跃，自 衬底），衬底中处于价带的电子吸收光子能量而跃入导带，形 ［，］ 它问世以来，国外不断推出有关 ;; 的专著 ) ! ，出版新的 成电子 空穴对，电子 空穴对在外加 电场作用下分别 向电极 + + ［，］ 研究专集 @ , ，使 ;; 技术不断向前发展，我 国自 )A:A 年 两端移动，形成光生电荷即信号电荷。 ［，］ ［ ］ 起也开始了 ;; 的研究工作，不