传感器与检测技术课件第五章视觉触觉传感器.ppt

光电靶面上每一个像素均可看作由电容C、光照时导电性增强的光电基元GL、不照射时也导电的暗电流基元GD等并联的电路。 电子束扫描到该像素时开关S闭合，电容C在瞬间被Er充电，扫描移到邻近像素时，S打开。当S打开时，如有光照在GL上，将产生电荷，它同C上的电荷中和一部分。下次扫描到该点时S再次闭合，已被中和了的C又被充电，充电电流Ic流过RL。电压IcRL同该点受光照射的强度有关，IcRL即为视觉的输出。 PMT视觉传感器 PMT是最早出现的视觉传感器，从上世纪五十年代发展到现在，技术已经非常成熟，是目前性能最好的传感器。 PMT就像一个圆柱体小灯泡，直径约一寸，长度约二寸；内置多个电极，将进入的光信号转化为电信号，即使很微弱的光线也可准确补捉。 CCD视觉传感器 CCD是美国贝尔实验室于1969年发明的，与电脑晶片CMOS技术相似，也可作电脑记忆体及逻辑运作晶片。CCD是一种特殊的半导体材料，由大量独立的感光二极管组成，一般这些感光二极管按照矩阵形式排列(富士公司的Super CCD除外)。 CCD的感光能力比PMT低，但近年来CCD技术有了长足的进步，又由于CCD的体积小、造价低，所以广泛应用于扫描仪、数码相机及数码摄像机中。目前大多数数码相机采用的视觉传感器都是CCD。 　　 CCD传感器又叫电荷耦合器，它是一种特殊的半导体材料，由大量独立的感光二极管组成，一般按照矩阵形式排列，相当于传统相机的胶卷。 首款11100万像素CCD视觉传感器 * 第五章 视觉、触觉传感器 第一节 视觉传感器 视觉传感器在机电一体化系统中的作用有以下三种： 进行位置检测 进行图像识别。通过图像识别了解对象的特征以及同其它对象相区别（识别物体、读出文字、符号等） 进行物体形状、尺寸缺陷的检测 视觉传感器以光电变换为基础，一般由以下四部分组成： 照明部分：为了从被测物得到光学信息而需要照明，是充分发挥传感器性能的重要条件。照明光源可用钨丝灯、闪光灯。 接收部分：由透镜和滤光片组成，具有聚成光学图像或抽出有效信息的功能。 光电转换部分：将光学图像信息转换成电信号。 扫描部：将二维图像的电信号转换为时间序列的一维信号。 通常将接收部分、光电转换部分、扫描部分制成一体，构 成视觉传感器 过去都采用光导摄像管的电视摄像机作为机器人的视觉系统。其光导摄像管是一种利用物质在光的照射下发射电子的外光电效应而制成的真空或充气的光电器件。光导摄像管兼有光电转换功能和扫描功能，一般有真空光电管和充气光电管两类，或称电子光电管和离子光电管。 目前基本上已采用固体摄像元件的摄像机作为视觉传感器。固体半导体摄像机所使用的固体摄像元件为CCD（Charge-Coupled Device的缩写，意为电荷耦合器件）。其图像信号的保存和信号读出的工作原理均与光导摄像管相似。 光电式摄像机由接收部分、光电转换部分和扫描部分组成二维视觉传感器。 其光导摄像管是一种兼有光电转换功能和扫描功能的真空管。 一、光电式摄像机原理 一、光电式摄像机原理 经透镜4成像的光信号在摄像管的靶面上作为模拟量而被记下来。从阴极发射的电子束依次在靶面（光电转换面）上扫 描，将图像的光信号转换成时间序列的电信号输出。 一、光电式摄像机原理 二、固体半导体摄像机原理 哈苏3900万像素数码单反相机 二、固体半导体摄像机原理 类似小灯泡的 传感器“PMT” 二、固体半导体摄像机原理 二、固体半导体摄像机原理 二、固体半导体摄像机原理 P型衬底 在P型硅衬底上通过氧化工艺，在其表面形成SiO2薄层，然后在 SiO2上沉积一层金属作为电极 （栅极），就形成一种“金属氧化 物半导体”的MOS单元。我们可 以把其看成一个以氧化物为介质的 MOS电容器。（光敏元） 当在金属电极上施加一正偏压，该 电压形成的电场穿过SiO2薄层，并 排斥P型硅中的多数载流子，从而在 电极下形成电荷耗尽区1，而在SiO2、 Si的界面上得到一个储存少数载流子 的势阱。 二、固体半导体摄像机原理 P型衬底 在没有光照的情况下，光敏元中的电子数目很少。光敏元受到衬底方向射来的光照后，入射光子被半导体吸收，产生电子空穴对。电子被栅极上的正电压所吸引，存储在光敏元中，称为电子包。光照越强，光敏元收集到的电子越多，所俘获的电子数目与入射到势阱附近的光强成正比，从而 实现了光与电子之间的转换。 二、固体半导体摄像机原理 P型衬底 人们称这样一个光敏元为一个像素，通常在半导体硅片上制有几百万个相互独立，排列规则的光敏元，称为光敏元阵列如果照射到这个阵列上的是一幅明暗起伏