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太阳能电池用硅材料国内外现状与技术进展 上海合晶硅材料有限公司 李积和 2005年6月 目录 1 引言 2 太阳能电池的分类和光伏产业价值链 3 太阳能用硅材料的生产工艺 4 国外太阳能电池用硅材料现状 5 国外太阳能电池用硅材料近年来的技术进展 6 国内太阳能电池用硅材料现状 7 发展国内太阳能电池用硅材料的思考 1 引言 1-1 硅材料的应用领域 1-1-1半导体用硅材料 1-1-2 太阳能电池用硅材料 1-2 半导体硅材料简介 1-2-1 世界半导体硅材料工业现状 1-2-2 国内半导体硅材料工业现状 1-1 硅材料的应用领域 工业硅 (又称:结晶硅或金属硅) 半导体用硅材料 含硅化合物(SiHCl3, SiH4) 太阳能用硅材料 半导体用多晶硅 太阳能用多晶硅 (又称:高纯硅或超纯硅) (Solar grade silicon) ? ? 单晶硅锭 单晶硅锭 多晶硅锭 ? ? 各种硅片 单晶硅片 多晶硅片 各种半导体器件 单晶硅太阳能电池 多晶硅太阳能电池 在半导体应用中还有半导体设备零件及消耗材料等 硅材料的另一应用领域在红外光学——红外滤光片 半导体用硅材料 半导体器件 集成电路 IC 分立器件 Discretes 微机电系统和微光机电系统 MEMS MOEMS 硅材料 抛光片 (Polished Wafer) 外延片 (Epi wafer ) SOI (Silicon on Insulator ) 应变硅 (Stained Silicon ) 应变SOI (Stained Silicon on Insulator) 研磨片 (Lapped Wafer ) 腐蚀片 (Etched Wafer ) 抛光片 (Polished Wafer ) 双面抛光片 (Double Polished Wafer ) 腐蚀片 (Etched Wafer ) SOI (Silicon on Insulator ) 太阳能电池用硅材料 太阳能电池类型 单晶硅太阳能电池 (sc-Si Cell) 多晶硅太阳能 (mc-Si Cell ) 硅材料 CZ单晶硅片 FZ单晶硅片 多晶硅片 (包括铸造、电磁铸造多晶硅及带硅) 世界半导体硅材料工业现状(1) 2000—2004年世界硅片发货量 世界半导体硅材料工业现状(2) 2004年世界硅片发货量较2003年增长22%。销售收入增长26%。 与2000年相比,发货量增加13%,销售收入却下降3%。 1995—2004年ASP(Average Selling Price)指数10年间从1下降到0.68。 Gartner预测2005年世界硅片需求放缓,面积增长仅3%。 世界半导体硅材料工业现状(3) 2004年世界主要硅片生产商排名 Shin-Etsu Handotai SUMCO (Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation ) MEMC Electronic Materials Siltronic(Wacker Siltronic ) 以上4家占世界市场份额的80% Komatsu Electronic Metals Toshiba Ceramics LG Siltron 以上7家占世界市场份额的95% 世界半导体硅材料工业现状(4) 产业特点: 资金密集 技术密集 生产集中化程度越来越高 受硅周期影响 效益低 技术方向: 大直径化,200mm是主流,正向300mm过渡,下一个目
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