12.5μm长线列碲镉汞焦平面杜瓦组件-激光与红外.PDFVIP

第４２卷　 第４期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．４ 　 ２０１２年４月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｐｒｉｌ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０４０３８９０４ ·红外技术及应用 · １２．５ ｍ长线列碲镉汞焦平面杜瓦组件 μ １，２ １ １ １ １ １ １ １ 夏　王 ，王小坤 ，林　春 ，曹妩媚 ，孙　闻 ，郝振怡 ，李言谨 ，丁瑞军 （１．中国科学院上海技术物理研究所，上海２０００８３；２．中国科学院研究生院，北京 １０００３９） 摘　要：２５６×２碲镉汞焦平面模块由２个２５６×１元芯片和２个光伏信号硅读出电路模块平行 对称组成，并分别与２个不同波段的微型滤光片以架桥式结构直接耦合后封装在全金属微型 杜瓦内，形成了长波２５６×２长线列碲镉汞红外探测器件组件。基本解决了２５６×２焦平面杜 瓦组件的关键技术，即高精度的组装技术、器件在冷平台上的热失配设计技术和高可靠性封装 技术。对抑制杂散光、降低背景辐射、提高组件的可靠性等方面采取了一系列措施，使研制的 碲镉汞焦平面器件获得了良好的性能，并进行了一系列空间适应性实验，实验前后的组件性能 未发生明显变化，满足工程化应用的要求。 关键词：长波；红外焦平面探测器；碲镉汞；杜瓦组件 中图分类号：ＴＮ２１５　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１２．０４．００８ Ｄｅｗａｒｆｏｒ１２．５ ｍｌｏｎｇｌｉｎｅａｒＨｇＣｄＴｅＩＲＦＰＡ μ １，２ １ １ １ １ ＸＩＡＷａｎｇ ，ＷＡＮＧＸｉａｏｋｕｎ，ＬＩＮＣｈｕｎ，ＣＡＯＷｕｍｅｉ，ＳＵＮＷｅｎ １ １ １ ＨＡＯＺｈｅｎｙｉ，ＬＩＹａｎｊｉｎ，ＤＩＮＧＲｕｉｊｕｎ （１．ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００８３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＧｒａｄｕａｔｅＳｃｈｏｏｌｏｆｔｈｅＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００３９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ２５６×２ＨｇＣｄＴｅｆｏｃａｌｐｌａｎｅａｒｒａｙｃｏｎｓｉｓｔｓｏｆｔｗｏ２５６×１ｓｕｂｍｏｄｕｌｅｓａｎｄｔｗｏｐｈｏｔｏｖｏｌｔａｉｃｓｉｌｉｃｏｎ ｒｅａｄｏｕｔｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔｓｉｎｐａｒａｌｌｅｌａｎｄｓｙｍｍｅｔｒｉｃａｌｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ．Ｔｗｏｄｉｆｆｅｒｅｎｔｎａｒｒｏｗｂａｎｄｆｉｌｔｅｒｓａｒｅｓｅｐａｒａｔｅｌｙａｓ ｓｅｍｂｌｅｄｂｙｆｉｌｔｅｒｐｉｅｒ．Ｔｈｅｌｏｎｇｗａｖｅ２５６×２ｌｏｎｇｌｉｎｅａｒＨｇＣｄＴｅｆｏｃａｌｐｌａｎｅａｒｒａｙｉｓａｓｓｅｍｂｌｅｄｉｎａｍｅｔａｌＤｅｗａｒ．Ｔｈｅ ｋｅｙｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓｏｆ１２．５ ｍｌｏｎｇｌｉｎｅａｒＨｇＣｄＴｅｆｏｃａｌｐｌａｎｅａｒｒａｙＤｅｗａｒａｒｅｓｏｌｖｅｄ，ｗｈｉｃｈｉｎｃｌｕｄｅｈｉｇｈａｃｃｕｒａｃｙａｓ μ ｓｅｍｂｌｙ，ｔｈｅｒｍａｌｍｉｓｍａｔｃｈｄｅｓｉｇｎｆｏｒｌｏｎｇｌｉｎｅａｒＨｇＣｄＴｅｆｏｃａｌｐｌａｎｅａｒｒａｙａｎｄｈｉｇｈｒｅｌｉａｂｉ