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利用散射辐射分布矩测量表面轮廓均方根斜率-激光与红外
第 卷 第 期 激 光 与 红 外
年 月
激光技术与应用
文章编号
利用散射辐射分布矩测量表面轮廓均方根斜率
曾 焱 艾克拜尔江 克然木
华南理工大学理学院物理系广东 广州
摘要为了利用激光散射分布测量表面粗糙度参数从分析高斯粗糙表面非傍轴散射光能量
的角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系 得到了利用散射角分布进行粗糙表面横向粗糙
度参数的测量方法 提出了散射光的两个特征值 辐射立体角密度矩 和 用以表
征散射光能量立体角分布情况 并给出了在非傍轴远场条件下的测量和计算方法 实验证明
给出的特征参数能够得到散射光能量立体角分布特征并可用于测量粗糙表面横向形貌参数
关键词 表面粗糙度 轮廓均方根斜率 非傍轴散射 散射辐射立体角分布 散射辐射分布矩
中图分类号 文献标识码
引言 相关领域的研究热点 等人研究了
光散射法是非接触表面粗糙度测量的方法之 各种具有典型特征的表面的散射光特点 得到了
一以往光散射法主要集中于表面形貌纵向参数的
理论的实验修正 等人研
测量很少涉及横向参数 然而从三维轮廓
究了多种金属表面的光散射角分布 并利用
看 表面粗糙度的横向参数 如轮廓均方根斜率等
模型来建立表面高度统计性质与散射光角分布之间
也是衡量表面粗糙度的重要参数 的关系 等设计了一个光纤传感器通过测
等人研究了粗糙度高度均方根 与
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