第3章测量技术基础.pptVIP

* 2. 光波干涉类量仪 这类量仪主要利用光的分振幅法将同一光源的光分成两束，一束为参考光，另一束为测量光，两束光相遇后发生干涉。由于测量光束的光程随被测工件尺寸变化而变化，因此两光束相遇后光程差也发生变化，干涉条纹将产生移动。通过测量干涉条纹的移动距离(或干涉条纹移过的数目)即可测得微小直线位移。 (1) 接触干涉仪原理 光源1发出的光经聚光镜2、滤色片安装孔3射入分光镜4。光束从分光镜上分成两束：一束透过4、补偿镜5到达和仪器测杆相连的反射镜6，然后从反射镜反射按原光路回到4，形成测量光束；另一束光在4上反射至参考镜7，再由参考镜7反射回4，形成参考光束。此两束光相遇后产生干涉。从目镜10中即可看到干涉条纹。 * (1) 接触干涉仪原理 测量开始时，先将滤色片(已知标准波长)装于安装孔3上，然后调整反射镜7与光轴的倾角，从而调整干涉条纹的宽度和方向，并可定出在此状态下刻度尺9的分度值。取下滤色片，再用白光照明，此时在目镜中可看到彩色干涉条纹。其中，零级干涉条纹是一条黑线，则以此黑线作为仪器指针进行读数。由上述光学系统可知，这种仪器是按迈克尔逊干涉仪原理设计的。 * (2) 激光干涉仪原理 直角棱镜由4个面组成，其中abd，acd和bdc三个反射面彼此相互垂直，d为锥顶，abc是入射面（也是出射面）。 当光束A由abc面射入，经acd，abd和bcd三个面三次反射后，由abc面射出。这种立体直角棱镜能保证入射光A和出射光B平行，因而降低了对导轨直线度的要求。 这种仪器和接触干涉仪的原理是相同的。由于激光的干涉长度大，故可测范围也大，为使反射镜的移动不因导轨的误差而影响正常的工作，因此将接触干涉仪的平面反射镜7和6改成立体直角棱镜，并取消了补偿镜5。 立体直角棱镜 * (2) 激光干涉仪原理 JDJ1000型激光测长机光路 从氨氖激光器5射出的光束经反射镜6、7到达准直光管8。从8射出的光经移相分光镜10分成两束：一束光由移相分光镜反射，经反射镜3、光楔2到固定立体直角棱镜1，再由1经原光路返回到10，形成参考光束；另一束光透过10到达活动立体直角棱镜12(它随测座移动)，再经12返回到10。两束光相遇后在10上透射和反射，从而在分光镜前、后形成两组干涉条纹。通过控制10的镀膜层厚度，可使两干涉条纹相位相差90?，并分别由光电三极管9，11接收，将光信号转变成电信号输入计数器电路，最后显示出12的直线位移量。图中的光电三极管4用于接受激光光强变化信息，用于激光器的稳频。 上述单频激光干涉法常受一些不利因素的影响(如稳频状况、测量环境变化等)，因此。双频激光干涉仪也得到广泛应用，特别是对较大尺寸的测量，由于它采用差频信号、交流放大，因而可在车间环境下工作。 * 五、光栅类量仪原理 1.莫尔条纹 光栅在几何量计量中应用愈来愈广。这里主要指计量光栅，这种光栅一般分为长光栅和圆光栅。长光栅相当于一根线纹密度较大的刻度尺，通常每1mm到25条、50条或100条刻线。圆光栅相当于线纹密度大的分度盘，一般在一个圆周上刻上 5400条、10800条或21600条刻线。 将两块栅距相同的长光栅(或圆光栅)叠放在一起，使两光栅保持0.01～0.1mm的间距，并使两块光栅的线纹相交一个很小角度，即得如图a所示的莫尔条纹。 从几何学的观点来看，莫尔条纹就是同类(明的或暗的)线纹交点的连线。由于光栅的衍射现象，实际得到的莫尔条纹如图b所示。 * 1.莫尔条纹 ? 很小 由于?角是一个很小的数，因而1/?是一个较大的数。这样测量莫尔条纹宽度就比测量光栅线纹宽度容易得多，由此可知莫尔条纹起者放大作用。 当两光栅尺在X方向产生相对移动时，莫尔条纹在大约与X相垂直的Y方向也产生移动。当光栅移动一个栅距时，莫尔条纹随之移动一个条纹间距。当光栅尺按相反方向移动时，莫尔条纹的移动方向也相反。 莫尔条纹还具有平均作用。每条莫尔条纹都是由许多光栅线纹的交点组成，当线纹中有一条线纹有误差时(间距不等、歪斜或弯曲)，这条有误差的线纹和另一光栅线纹的交点位置将产生变化。但是一条莫尔条纹是由许多光栅线纹的交点组成，因此一条线纹交点的位置变化对一条莫尔条纹来说影响就非常小，因而莫尔条纹具有平均效应。 * 2.计数原理 光栅计数装置种类较多，读数头结构、细分方法等也各不相同。图a是一种简单的光栅头示意图，图b是其数显装置。光源1发出的光经透镜2成一束平行光，这束光穿过标尺光栅4和指示光栅3后形成莫尔条纹。在指示光栅后安放一个四分硅光电池5。调整指示光栅相对于标尺光栅的夹角?，使条纹宽度B等于四分硅光电池的宽度，当莫尔条纹信号落到光电池上后，则由四分硅光电池引出4路光电信号，且相邻两信号的相位相差90?。当标尺光栅相对于指示光栅移动时，可逆计数器就能进行计数。其计数电路方框图如图3-