氧分仪 - 广思科技有限.PDF

氧分仪 确保超纯净气体的质量 突破性的Pico-Ion 传感器技术 灵敏度0.5%全范围，1 PPB 氧气 熔接和VCR 连接 整数调零和传感器隔离系统 快速恢复，免维护 自动设换范围，调零和校准 通讯连接USB 或RS232 新Pico-Ion 传感器技术 在半导体制程里的ppb 气体如氮气，氩气，氦气和氢气中会负面影响到生产 量和质量。在制程过程中，氧气会与硅反应，在硅片表面形成改变装置特征 的不良栅氧化层。 Pico-Ion 传感器的独特特征是它作为辨别电极材料阴极和一个独特控制的气 体传送通道的使用。这两种特质可以让用户获得少于1 ppb 的信号输出。同 时，也减少传感器中因暴露在极干燥的高纯度制程气体下的水蒸发。 阴极上气室的设计把氧气在阴极上反 应的速率最佳化，从而减少逃走未反 应和分解在电解质中的氧气数量。 氧 气 这个设计也减小了传感器信号在非常 低的氧气等级下对温度的依赖，从而 确保了传感器长期的稳定性。 为了进一步提高 Pico-Ion 传感器的稳 定性，GPR-1600UHP ppb 氧分析仪装 备有一个温控加热器系统。他有显示 温度和氧气值的功能，允许用户手动 输入温度系数来调整温度补偿。 测试结果说明Pico-Ion 传感器每小时增加1 ppb 的氧气。 这些特征产生了一种传感器，这种传 感器所谓的敏感度少于 1 ppb，噪音 等级少于 0.2 ppb ，拥有卓越的稳定 性，90% 的响应时间小于60 秒和快速 线性测试 从制程不良情况中恢复的能力。 传感器可以持续使用 18 个月而不需 要维护，也不需要附加的电解质或水。 氧 新的 Pico-Ion 传感器技术使 气 GPR-1600UHP QT 分析仪能够提供给 用户一个合算的解决方法来检测超纯 产生的氧气 气体中的ppb 等级氧气污染。 最先进的氧气分析仪 为了达到 Pico-Ion 传感器的潜能，并且满足 检测高纯度半导体气体少于1 ppb 氧气污染 的要求，需要最先进的采样系统和电子界面。 超净无泄漏取样系统以最小的死体积，316L 不锈的部件，泄漏检验VCR 装配，焊接接口 和空气光圈阀门为特色。设计的构造本性使 用户能够根据特定的需要配置采样系统。基 本的仪器包括传感器隔离阀并且扩展到包括 以下可选择的附加模块：  分离样品，跨越入口  完整的压力调节器  完整的调零气体产生器  完整的样本支路在运输，启动，制程不良情况和 维护期间把传感器从高等级氧气中隔离出来 一套完整的温度控制加热器系统进一步加强了分析 仪的稳定性。这个系统包括维持样品和传感器恒温的 隔离围墙，PID 控制器和热耗散保护。这让我们在周 围温度波动为±10 华氏度的白天黑夜的循环中，信 号趋向小于1 ppb 氧气。 控制分析仪的拥有所有权的软件是菜单驱动的，并且 显示在用户通过4 个控制钥匙操纵的大型LCD 显示屏 上。可以通过使用双向RS232C 或USB 端口使用分析 仪或用电脑远程操作。 GPR-1600 UHP QT 提供的一些电子特性，让用户可以 用这些电子特性轻松确保一贯可靠的性能。  自动控制样品，校零和气传入  自动调零和校准常规编程定时  自动与手动超越控制平行  编程氧气值时，传感器自动隔绝  如果能源中止，传感器自动隔绝  编程间隔中一定数目点的数据获取  温度系数手工登录使用户能够为进一步的稳定性调整温度补偿  虚弱的传感器警告，校验时会显示  自我诊断，2 个可调整的警报器，有干簧继电器触点和动力故障报警 分析仪包装在