氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性.PDFVIP

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2017-06-21 发布于安徽
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氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性.PDF

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第 37 卷第 3 期摩擦学学报 Vol 37 No 3 2017 年 5 月 Tribology May, 2017 DOI: 10.16078/j.tribology.2017.03.011 氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性 1,3 1 1* 2 1 王福 , 鲁志斌, 张广安 , 王立平, 薛群基 (1. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州 730000; 2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所海洋材料与防护技术重点实验室，浙江宁波 315201; 3. 中国科学院中科院大学，北京 100049) 摘要: 为了系统研究氟掺杂对非晶碳基薄膜摩擦学行为的影响，以C H 和CF 为气源，通过等离子体增强化学气相 2 2 4 沉积方法制备不同F含量的非晶碳基薄膜. 采用XPS、SEM、Raman光谱以及纳米压痕等技术测定薄膜的微观结构、化学组成和力学性能，利用球-盘式往复摩擦试验机评价薄膜与不同配副材料的摩擦磨损性能. 结果显示：较低F含量并未显著影响薄膜与强碳黏着对偶Ti、WC和Si N 的摩擦系数；少量F原子掺杂明显增加了薄膜与弱碳黏着对偶 3 4 ZrO 和Al O 的摩擦系数；薄膜与GCr15对偶的摩擦系数随F含量增加而明显升高；高F含量导致薄膜与Cu对偶的摩 2 2 3 擦系数产生明显波动，而导致薄膜与Al对偶的摩擦系数显著增加；值得注意的是，高F含量薄膜在不同体系中都表现出高摩擦低磨损的特点. 高活性F原子与对偶材料的摩擦化学作用能够合理解释不同体系摩擦学行为. 关键词: 非晶碳基薄膜; 氟; 摩擦; 磨损; 摩擦化学中图分类号: TH117.3 文献标志码: A 文章编号: 1004-0595(2017)03–0357–07 Mating Material-Dependence of Tribological Behavior of Fluorinated Amorphous Carbon-Based Films 1,3 1 1*