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上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第六章 激光在精密测量中的应用 §6.1 激光干涉测长 * §1.7 光的相干性 第一章 辐射理论概要 上一页 回首页 下一页 回末页 第一章 回目录 6.1.1 干涉测长的基本原理 1. 激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪,如图6-1示,用干涉条纹来反映被测量的信息。两束光的光程差可以表示为 2.被测长度与干涉条纹变化的次数和干涉仪所用光源波长之间的关系是 图6-1 激光干涉测长仪的原理图 3.从测量方程出发可以对激光干涉测长系统进行基本误差分析 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 1. 除了迈克尔逊干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。 2.迈克尔逊干涉仪是激光干涉测长系统的核心部分，其分光器件、反射器件和总体布局有若干可能的选择。 3.干涉仪的分光器件原理可以分为分波阵面法、分振幅法和分偏振法。 分振幅平行平板分光器和立方棱镜分光器 偏振分光器(参见图6-6中的B2)以及由晶轴正交的偏光棱镜组成如沃拉斯顿棱镜。 4.干涉仪中常用的反射器件:平面反射器、角锥棱镜反射器（图6-2a）、直角棱镜反射器（图6-2b）、猫眼反射器（图6-2c） 图6-2 反射器 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 5.激光干涉仪的典型光路布局有使用角锥棱镜反射器的光路布局，如图6-3示。 图6-3 典型光路布局 6. 移相器也是干涉仪测量系统的重要组成部分。常用的移相方法有机械移相（图6-4），翼形板移相，金属膜移相和偏振法移相。 图6-4 机械法移相原理图 6.1.2 激光干涉测长系统的组成 7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π/2的脉冲信号（图6-5）。 图6-5 判向计数原理框图 6.1.3 激光外差干涉测长技术 1.外差干涉仪：在干涉仪的信号中引入一定频率的载波，使被测信号通过这一载波来传递，干涉仪能够采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移。 2.产生干涉仪载波信号的方法有两种 3.双频激光干涉仪的光路如图6-6所示，其中氦氖激光器上沿轴向施加以磁场，由于塞曼效应激光被分裂成有一定频率差的左旋偏振光f1和右旋偏振光f2 图6-6 双频激光干涉仪光路图 4.测量反射镜运动产生的多普勒频移可以表示为 5.测量镜的位移量可由下式计算
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