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Fairchild 六轴 MEMS IMU ：FIS1100 Fairchild FIS1100 6-Axis MEMS IMU ——逆向分析报告 Fairchild 首款消费类六轴IMU——FIS1100 采用全新的体硅微机械加工工艺和硅通孔互联 FIS1100 是Fairchild 战略投资MEMS 和运动跟踪技术以来推出的首款六轴MEMS 惯性测量 单元（IMU）产品。FIS1100 IMU 集成了专有的AttitudeEngine™运动处理器以及业界最佳 的九轴传感器融合算法，为设计人员提供易于实施的系统级解决方案，具有卓越的用户体验， 低至十分之一的处理功耗，广泛应用于支持运动、采用电池供电的应用中。 内置AttitudeEngine 架构大幅降低系统功耗 FIS1100 主要参数如下： * 采用3.3 x 3.3 x 1 mm LGA 封装的单芯片MEMS 六轴IMU （陀螺仪+加速度计） * 包含九轴传感器融合库和内嵌式运动处理器 * 标定±3º的纵横定位精度和±5º的偏航/航向定位精度 * 从±32 dps 至±2560 dps 以及从±2 g 至±8 g 的较大动态范围 * 低噪音50 μg/√Hz 加速计和 10 mdps/√Hz 陀螺仪 * 低延迟、高分辨率OIS 模式 * 1536 字节的较大FIFO，支持较低的系统功耗主机串连接口支持I2C 或SPI * I2C 主模式，用于与外部磁力计接口 FIS1100 采用 Fairchild 的专有MEMS 工艺，专门针对惯性传感器而设计。该工艺具有多个 设计元素，能够实现最佳性能、尺寸和鲁棒性。FIS1100 由一颗MEMS 芯片和一颗ASIC 芯 片堆叠而成，通过引线键合方式连接。其中，MEMS 芯片采用了体硅微加工工艺、共晶键合 和直接键合，以实现三片晶圆键合。在 MEMS 芯片结构中采用硅通孔（TSV ）方式实现电气 连接，以更好地利用空间。 Fairchild 六轴MEMS IMU：FIS1100 拆解图 Fairchild 董事长和首席执行官Mark Thompson 说道：“Fairchild 推出首款MEMS 产品，这是 个关键的里程碑，意味着公司将独特设计和制造专长应用到除电源以外的系统级解决方案。 凭借因收购 Xsens 获得的先进算法和深度应用技术，我们支持客户开发针对各类快速增长 的细分市场（如消费电子、工业和健康）的先进运动解决方案。” FIS1100 IMU 采用内置AttitudeEngine 运动处理器和XKF3™传感器融合，是一个低功率、 高精度系统解决方案，为客户提供永不断线传感器技术，可用于很多应用，如运动、健身和 保健用的可穿戴传感器、行人导航、自主机器人，以及虚拟和增强实境。 AttitudeEngine 运动处理器的功耗和精度情况 IHS 的MEMS 传感器总监即高级首席分析师Jeremie Bouchaud 说道：“消费电子设备运动跟 踪已经从游戏接口和智能手机快速扩展到很多新型移动事物互联网应用。由于设计人员期待 通过运动来实现其产品的差异化，在 IMU 中集成运动处理器和完整软件解决方案能够加速 产品上市时间，同时确保实现竞争目标如小型化、较长的电池寿命和运动跟踪准确度等之间 的最佳平衡。” AttitudeEngine 在内部以高速率处理六轴惯性数据，并以与应用需要匹配的低速率输出给主 机处理器，因此无需高频率中断。这样，系统处理器处于休眠模式的时间就更长，从而为客 户提供更长的电池寿命，而不会牺牲功能或准确性。绑定的XKF3 高性能9 轴传感器融合算 法综合了来自芯片上的陀螺仪和加速计的惯性传感器数据和来自外部磁力计的数据。传感器 融合还包括背景自动校准，在准确度、一致性和流动性方面提供卓越的性能。结合XKF3 传 感器融合算法后，FIS1100 成为世界上首款符合定位（四元素）规范的完整消费电子惯性测 量装置，具有±3°的俯仰和侧滚准确度，以及±5°的偏航准确度。 本报告包括FIS1100 与ST 新一代产品LSM6DS3、Bosch BMI160、InvenSense MPU-6500 的对比分析，包括技术和成本两方面。 精彩略览：