第三章电子显微镜I技术总结.ppt

* * (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 　　在电子光学系统中用于使电子波聚焦成像的磁场是一种非均匀的磁场，其等磁位面形状与静电透镜的等电位面或光学玻璃透镜的界面相似。通常将能产生旋转对称非均匀磁场的磁极装置叫做电磁透镜。 　　电磁透镜比恒磁透镜使用方便，应用更广泛。 图10(a)透镜磁场中磁感应强度的分解 * * (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 　　沿透镜主轴方向射入的电子束，其中精确地沿轴线运动的电子不受磁磁力，不改变运动方向； 　　其它与主轴平行的入射电子，将受到径向磁感应强度Br的限制，产生切向力Ft,使电子获得切向速度vt。 图10(b)非精确地与主轴平行的入射电子瞬间受力与运动方向 * * (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 　　一旦获得切向速度，则电子开始作圆周运动。在电子开始作圆周运动的瞬间，由于BZ的作用，电子受到径向作用力Fr ，从而使电子向轴偏转；导致电子做圆锥螺旋运动。　　 图10(c) 平行于主轴的入射电子的运动轨迹 * * (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 图10(d、e) 平行于主轴的入射电子束经过磁透镜后聚焦于主轴上一点 focus * 图11 图10a中A点位置的B 和v的分解情况 O O’ A C Br B vz Bz v vr b 电子在磁场中要受到磁场作用力： 圆周运动 切向运动 向轴运动 出磁场后又是直线运动。 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 * * (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 图12　短线圈磁场中的电子运动示意图 说明：电磁透镜具有与光学玻璃透镜相似的光学原理　　 * * 　　上述讨论了最简单的电磁透镜－短线圈磁场的聚焦成像原理。其缺点是：①部分磁力线在线圈外，对电子束聚焦不起作用；②磁感应强度低。　　　 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 提高电磁透镜聚焦能力的措施： 　　将软线圈装在由软磁材料（低碳钢或纯铁）制成的具有内环形的壳子里。　 图13 带软磁壳的电磁透镜 磁感应线分布 等磁位面形状 * * 软磁壳内孔和环形间隙的尺寸越小，间隙附近区域磁场强度越高，对电子的折射能力越强，相应透镜的焦距越短。　　　 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 　　但在实际应用时，由于加工精度问题，通常采用将极靴组件套在软磁壳内环形间隙的两端，即通常使用有极靴的电磁透镜。　　 图14有极靴的电磁透镜剖面示意图 * * 　　　为了进一步缩小磁场的广延度，使大量磁力线集中于缝隙附近的狭小区域内，接出一对顶端成圆锥状的极靴。 　　带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。　　 (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 图15　极靴组件分解 　　　　　　　　　　　固定光阑 * * 图16　有短线圈、有极靴和无极靴三种电磁透镜轴向磁感应强度分布 　　　　　　　　　　　 有极靴的聚集能力最强 有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 z (2)电子在磁场中的运动及磁透镜聚集原理 * * 磁透镜 静电透镜 1. 改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大率； 2. 无击穿，供给磁透镜线圈的电压为60到100伏； 3. 像差小。 1. 需改变很高的加速电压才可改变焦距和放大率； 2. 静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿； 3. 像差较大。 表1　磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 目前，应用较多的是磁透镜，请着重磁透镜的工作原理 (3)磁透镜和静电透镜性能对比 * * ①电子波的波长λ＝h∕mv（E＝hν=h/λ=mv）； ②电子速度与电压的关系 　　对v0＝0的电子，在加速电压U的作用下，速度达到v，则动能E为： (4)电磁透镜的缺陷和理论分辨本领 * * ③ 电子波长与加速电压的关系 当电子速度较低时，其质量约等于其静止质量，即m=m0 ; e=1.6×10-19C，m0=9.1×10-21Kg;当加速电压很高时，需要修正。 ④ 电子波长的相对论校正(当加速电压很高时) （5） * * ⑤由衍射效应产生的EM的分辨本领 表2不同加速电压下的电子波波长 U/KV 20 40 60 80 100 λ/nm 0.00859 0.00601 0.00487 0.00418 0.00371 U/KV 120 160 200 500 1000 λ/nm 0.00334 0.00285 0.00251 0.00142 0.00087 * * ⑥像差 包括几何像差和色差。 （a）几何像差是由于透镜几何形状上的缺陷造成的，主要是指球差和像散。 （b）色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 * * 球差（球面相差）