半导体安全与环保管理.docxVIP

各位学员大家好! 今天要与各位分享的是半导体安全与环保管理课程，我是力晶半导体风险控制部丁立文今天的课程共分为三个部份加以介绍第一个部份是针对半导体产业特性与管理架构加以说明、第二个部份为环境保护运作管理实务，第三部份则为安全卫生管理实务要做好半导体业的环保安全卫生管理工作，首先必需要了解半导体整体产业的特性，基本上半导体产业具有三大产业特性，第一是资本密集、第二是技术密90 集，第三则是产业的变动性很大，故因应此产业的三大特性，相对衍生出以下几点产业的现况对工安环保人员来说相当重要并且必需密切注意，第一个部份是关于设备机台方面，因为产业资本密集所以厂房内的设备机台不只种类及数量繁多而且区域集中，第二个部份由于半导体技术密集复杂，所以运用于机台的原物料化学品的种类多样且相对特性相当的复杂且变动性大，会对整体的环保与安全管理上产生影响、第三则是因为产业的变动性大，所以制程技术的变动频率就相对性的增高，而也造成很多现场不管是环保或安全管控上面的复杂度，另外同样因应产业性变动大，半导体厂里面的人员，包括员工以及设备与工程承揽商的人数就相当众多，造成整个人员及工程管理的接口变得十分的复杂。大体而言半导体业依制程的先后顺序，整体产业结构可分成以下几个阶段，包括第一个阶段为「晶圆材料制造」，第二个阶段为「集成电路制造」，及第三个阶段则是「封装测试的制程」，在这三个制程里面，以集成电路制造最复杂且涵盖面最广，所以以下的课程内容，基本上是针对集成电路制造这样一个比较复杂的制程结构做相关课程的介绍. 针对集成电路制造，一般而言可以将制程概分成四大部份，第一个部份是扩散制程，第二个部份是黄光制程，第三个部份是薄膜制程，第四个部份是蚀刻制程，各制程的细部功能，请各位同学参考半导体制造的相关数据，以下我们则会针对于这四大制程它所有带来的安全与环保相关的议题来做介绍探讨。要妥善进行半导体业的安全与环保管理，要先对在制程区域的潜在安全危害有所了解，我们首先谈到的是扩散制程，在扩散制程中因为制程需要会使用到许多的酸碱、有机、以及具有刺激性或是具有毒性的气/液态化学品，这些化学物质在制程使用的过程中会对作业环境及作业相关人员带来可能的危害，包括酸碱溶液及有机溶剂所产生的腐蚀、不兼容反应、易燃、引火爆炸及吸入性伤害等，另外制程的需要使用的刺激性及具毒性的气体亦会对人员造成伤害，当然前面所提到使用的化学品是具易燃易爆的特性，所带来的火灾燃烧危害亦是必需相当注意的重点，此外机台设施运转可能带来的高温?伤，或是机台设备运作所产生的噪音、机台设备维修及搬运相关的设施所带来的人因工程上的危害，以及部份机台产生游离辐射所带来的危害，都是必需了解界定的；至于黄光制程的部份则主要是使用光阻液、去光阻剂等有机溶剂所衍生的可能危害，另外对于机台本身，一样的因为机台过于密集，机台所产生的噪音以及维修及运作过程可能造成的人因工程的危害也是必需加以考虑。至于在薄膜制程的部份，也因为这个制程的特性，会有以下几点危害需特别注意，包括刺激性及有毒性的气体、制程作用产生的金属熏烟及氧化物逸散，造成人员的吸入性危害，另外如酸碱溶液，游离辐射、噪音、人因工程以及火灾爆炸都是在薄膜制程可能会对人员及环境产生危害；另外还有蚀刻制程，刺激性及具有毒性的气体酸碱溶液及人因工程是这个制程常见的危害。刚才介绍的基本上都是所谓制程区的危害，但在整个半导体厂除了主要的制程区外，还有附属设施区域，这些附属设施区域包括有厂务设施的部份，也包括联接机台的帮浦及尾气处理设备所放置的区域，在这些区域主要是提供机台设备运转所需的用水、用电、气体、化学品及机台反应后端的废气及废液处理，可能产生的危害包括在厂务电力供应设施可能会有高压电力感电的危害，厂务设施中许多高温运作设备如锅炉等可能会有的高温危害，另外厂务设施中的紧急发电机、动态不断电系统、冰水主机以及马达等设施设备都是半导体厂里面噪音危害的主要来源，当然从厂务设施的供应给制程机台使用的酸、碱、有机化学品以及经过机台设备反应以后所产生的所谓废液，在传送供应的的过程中可能从供应设施及管线产生泄露，而对人员与环境产生相关危害，同样的由厂务供应的具刺激性及毒性的气体亦可能泄漏因而产生危害，另外因应运作需求，厂务端亦会供应大宗气体如氮气，当在非开放空间的工作区域内，发生上述气体的大量泄漏时，会造成这个区域空间里面氧浓度过低的状况，因此产生窒息性的危害。另外在放置联接制程机台的帮浦及尾气处理设施的区域，制程反应所产生的反应物包括气体或粉末，在维修设备或是管线遭受腐蚀产生泄漏，亦同样对人员产生吸入性或接触性的危害。谈完制程区域跟非制程区域安全危害的特性之后，我们再来介绍在整个半导体厂里面制程环境污染的特性，前面提过在半导体厂内使用许多不同种类特性的化学品、特殊气体及有机溶剂，所以在制程