漂移区表面阶梯掺杂！#$%的击穿电压模型.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ) * (%%N * ， ， ， @0Y =) X0 = * ;869O (%%N （ ） $%%%T*(?%U(%%NU) %* U $N?$T%# VGV JW+!V +!X!V #(%%N O12 = OZ4 = +09 = !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 漂移区表面阶梯掺杂!#$% 的击穿电压模型 李 琦 张 波 李肇基 （电子科技大学 设计中心，成都 ） !