多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究.PDF

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2017-06-24 发布于天津
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多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究

实用研究特种铸造及有色合金年第卷第期２０１３３３２　多晶硅铸锭用石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺研究刘志凯戴斌煜张伟商景利　　　　（）南昌航空大学航空制造工程学院。，摘要研究了石英坩埚氮化硅涂层免烧结工艺在氮化硅浆料中加入一定量固体和液体粘结剂使氮化硅粉强有力地　　，，吸附在坩埚内壁喷涂完成后在保温直接装入硅料免去了传统涂层制备工艺中坩埚需在温度下烧７０８０ ℃ ２ｈ１０５０ ℃ ～　。，，。结６７ｈ的工艺过程此工艺可缩短晶锭的生产周期提高生产效率降低生产成本～；；；关键词多晶硅免烧结氮化硅涂层粘结剂　中图分类号＋；＋文献标志码文章编号（）ＴＭ９１４．４１ＴＮ３０４．１２Ａ１００１－２２４９２０１３０２－０１１６－０３　　　　　　　　ＰｒｅａｒａｔｉｏｎｏｆＳｉＮＣｏａｔｉｎｉｎｕａｒｔｚＣｒｕｃｉｂｌｅＵｓｅｄｆｏｒ　　　　　　ｐ３４ｇＱ　ＭｕｌｔｉｃｒｓｔａｌｌｉｎｅＳｉｌｉｃｏｎＩｎｏｔｂＮｏｎｓｉｎｔｅｒｅｄＰｒｏｃｅｓｓｙ　　ｇ　ｙ－　　，，，ＬｉｕＺｈｉｋａｉＤａｉＢｉｎｕＺｈａｎＷｅｉＳｈａｎＪｉａｎｌｉ　　ｙｇｇｇ　　（，）ＳｃｈｏｏｌｏｆＡｅｒｏｎａｕｔｉｃａｌＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎａｎｄＥｎｉｎｅｅｒｉｎＮａｎｃｈａｎＨａｎｋｏｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔ　　　ｇ　ｇｇｇｇｇｙ