第5章电容.PPT

第五章 电容式传感器及其应用 5.1 工作原理和结构 由两块金属板，中间充以绝缘介质就组成了最简单的平板电容器。如果不考虑边缘效应，其电容 * （5-1) 式中：?——电容极板间介质的介电常数，?＝?0. ?r，其中?0为真空介电常数，?r为极板间介质相对介电常数； A——是电极面积： d——极板间距。 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 5.1.1 变极距型电容传感器 图5-1 变极距型电容式传感器 当传感器的?r和A为常数，初始极距为d。时，由式（5-1)可知其初始电容量C0为 （5-2) 若电容器极板间距离由初始值d0缩小?d，电容量增大?C，则有 （5-3) 由式（5-3)可知，传感器的输出特性C＝f(d)不是线性关系，而是如图5-2所示的双曲线关系。 图5-2 电容量与极板间距离的关系 在式（5-3)中，若?d／d0??1时， 则式（6-3)可以简化为 （5-4) 此时C1与?d近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在?d／d0很小时，才有近似的线性输出。 另外，由式（5-4)可以看出，在d0较小时，对于同样的?d变化所引起的?C可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 极板间可采用高介电常数的材料(云母、塑料膜等)作介质(如图5-3所示)， （5-5) 图5-3放置云母片的电容器 式中：?g --云母的相对介电常数， ?g＝7； ?0——空气的介电常数，?0＝1； d0——空气隙厚度； dg——云母片的厚度。 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000kV/mm，而空气仅为3kV／mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时，式（5-5)中的(dg/?0?g)项是恒定值，它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。 此时电容C变为 被测量通过移动动极板引起两极板有效覆盖面积A改变，从而得到电容的变化量。设动极板相对定极板沿长度方向的平移为?x，则电容为 图5-4变面积型电容传感器原理图 式中C0 =?0?rba/d为初始电容。电容相对变化量为 （5-7) 很明显，这种形式的传感器其电容量增量?C与水平位移?x是线性关系。 5.1.2 变面积型电容式传感器 图5-4是变面积型电容传感器原理结构示意图。 图5-5是电容式角位移传感器原理图。 （5-8) 式中：?r——介质相对介电常数； d0——两极板间距离； A0——两极板间初始覆盖面积。 当? ? 0时，则 （5-9) 从式（5-9)可以看出，传感器的电容量C与角位移?呈线性关系。 图5-5 电容式角位移传感器原理图 当动极板有一个角位移?时，与定极板间的有效覆盖面积就改变，从而改变了两极板间的电容量。当?＝0时，则 设被测介质的介电常数为?1，液面高度为h，变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，则此时变换器中气体介质间的电容量C1和液体介质间的电容量C2分别为 图5-6 电容式液位变换器结构原理图 （5-10) 5.1.3变介质型电容式传感器 图5-6是一种变极板间介质的电容式传感器,用于测量液位高低的结构原理图。 因此，总电容量C为 图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为?r2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。传感器总电容量C为 图5-7 变介质型电容式传感器 （5-11) （5-12） 可见，电容的变化与电介质?r2的移动量L呈线性关系。 图5-7是一种常用的变介质电容器结构型式。 若电介质?r1＝1，当L＝0时，C0 =?0?r1 L0b0/d0 。当介质?r2进入极间L后，引起电容的相对变化为 5.2 电容式传感器的灵敏度和非线性 由式（5-3）可知，电容的相对变化量为 （5-13） 1时，则上式可按级数展开，故得 （5-14） 由此可见，输出电容的相对变化量?C/C与输入位移?d之间呈非线性关系。只有当?d /d0 1时，可略去高次项，则得近似的线性关系式： （5-15） 当 电容传感器的灵敏度为： （5-16） 如果考虑式（5-14）中的相对非线性项与二次项，则 （5-18） （5-17） 由此可得出传感器的相对非线性误差?为 在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。图5-8是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。 图5-8 差动平板式电容传感器结构图 （5-19） （5-20） 在差动平板式电容器中，当动极板位移