冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究-无机材料学报.PDFVIP

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2017-06-25 发布于天津
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冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究-无机材料学报

第32 卷第3 期无机材料学报 Vol. 32 No. 3 2017 年3 月 Journal of Inorganic Materials Mar., 2017 文章编号: 1000-324X(2017)03-0281-06 DOI: 10.15541/ji 冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 3 李鹏廷 , 王凯 , 姜大川 , 任世强 , 谭毅 , 安广野 , 张磊3 3 3 , 郭校亮 , 王峰 (1. 大连理工大学材料科学与工程学院, 大连116024; 2. 大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室, 大连116024; 3. 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司, 青岛266200) 摘要: 以工业硅为原料，利用介质熔炼、定向凝固和电子束熔炼三种熔体处理技术对工业硅中的B 、P 和金属杂质进行了去除，制备出了99.9999%级多晶硅材料，其中，杂质B 和P 的含量分别低于0.20 ppmw （parts per million (weight)，百万分之一质量），金属杂质总含量（TM ）低于0.23 ppmw 。研究发现，介质熔炼去除杂质B 的过程中，熔体中发生氧化还原反应可以有效去除大部分的杂质 Al 和 Ca ；电子束熔炼过程中，利用饱和蒸气压原理可以有效去除挥发性杂质 P 、Al 、Ca ，同时降束诱导多晶硅定向凝固，可将其他金属杂质进一步去除。本研究通过各技术间的耦合除杂，减少了冶金法提纯多晶硅的工序，为连续化、规模化生产提供了技术支撑。关键词: 工业硅; 介质熔炼; 定向凝固; 电子束熔炼中图分类号: TF89 文献标识码: A Coupling of Metallurgical Method to Remove Impurities in Solar Grade Polycrystalline Silicon 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 3 LI Peng-Ting , WANG Kai , JIANG Da-Chuan , REN Shi-Qiang , TAN-Yi , AN Guang-Ye , 3 3 3 ZHANG Lei , GUO Xiao-Liang , WANG Feng (1. School of Materials Science and Engineering, Dalian University of Technology, Dalian 116024, C