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2013 年 47 No． 5 3
第 卷
” —
——
“ 一真正 的高能效混合工艺 苏尔寿
唯
HI3 PVD 技术开创新一代高性能涂层
High Productivity by Sulzers HI3 PVD Technology ，The “only true ”Energy Efficient
Hybrid Process Technique to Synthesise Next Generation High Performance Coatings
G． Erkens1 ，J． Vetter1 ，J． Müller1 ， 烈2
黄
1 Sulzer Metaplas GmbH ［ ］2 ( )
德 ;苏尔寿美科表面技术 上海 有限公司
。
这方面的优势则更加明显 新一代电弧蒸发器有着
1 引言
PVD ，
远高于其它 技术的沉积速率 通过该方式沉积
为 ， 的涂层在先进切削和成型应用领域有着出众的膜基
了应对现在及将来的各种切削加工挑战 技
， 结合力和膜层性能。
术与工艺专家们采用各种沉积和表面处理技术 为
。
刀具提供独特和量身定制的涂层解决方案 本文介
—
绍一种能为刀具量身定制涂层方案的全新方法 ——
PVD 。 PVD
混合涂层工艺技术 所谓 混合涂层工艺
，
技术 就是将多种不同涂层工艺的膜层形成过程整
。
合在一台单一的涂层设备中实现 苏尔寿独特的高
— (
离化溅射技术 ——HIPAC 技术 高离化等离子体辅
) HiPIMS
助涂层技术 ， AEGD 以及
是 蚀刻和预离化
( ) 。
高能脉冲磁控溅射 技术的先进组合技术 再将
HIPAC APA － Arc ( )
与 先进的等离子辅助电弧 技术
， HI3 ( )
组合在一起 形成苏尔寿独特的 三重高离化
1 HiPIMS、
图 直流溅射和电弧技术与能耗相关的沉积速率
，
混合涂层技术 该技术将引领当今和未来高性能精
1
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