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?rA＝?fAα （7－10） 式中 ?fA为电磁透镜出现椭圆度时造成的焦距差。 电磁透镜在制造过程中已存在固有的像散，可以用消像散器校正。 图7－5 像散 (三)色差 色差是由于入射电子波长(或能量)的非单一性所造成的。见图8—6。 若入射电子能量出现一定的差别，能量 大的电子在距透镜光心比较远的地点聚 焦，而能量较低的电子在距光心软近的地点聚焦，由此造成了一个焦距差。 图8—6 色差 使像平面在长焦点和短焦点之间移动时．也可得到一个最小的散焦斑，其半径为Rc 。 把Rc除以透镜的放大倍数M，即可把散焦斑的半径折算到物点P的位置上去，这个半径大小等于?rc ． ?rc＝Rc/M (7—11) 二、分辨本领 电磁透镜的分辨本领由衍射效应和球面像差来决定。 (一)衍射效应对分辨本领的影响 由衍射效应所限定的分辨本领在理论上可由Rayleigh公式计算，即 (7－12) 式中 ?r0——成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离，用它来表示分辨本领的大小， ?r0越小，透镜的分辨本领越高； λ——波长； N——介质的相对折射系数； α——透镜的孔径半角。 ?r0的物理含义 物体上的物点通过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上得到的并不是一个点，而是一个中心最亮、周围带有明暗相间同心圆环的圆斑，即所谓Airy斑（图7－8）。若样品上有两个物点S1、S2通过透镜成像，在像平面上会产生两个Airy斑S1′、S2′，如图7—8(a)。 图7-8 两个点光源成像时形成的Airy斑 (a) Airy斑；(b)两个Airy斑靠近到刚好能分得开的临界距离时强度的叠加 (a) (b) 如果这两个Airy斑相互靠近，当两个光斑强度峰间的强度谷值比强度峰值低19％时，这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉。 像平面上S1′、S2′之间的距离正好等于Airy斑的半径R0，折算回到物平面上点S1和S2的位置上去时，就能形成两个以?r0 ＝ R0/M为半径的小圆班。 ?r0的物理含义 若以任一物点为圆心，并以?r0为半径作一个圆，此时与之相邻的第二物点位于这个圆周之内时，则透镜就无法分辨出此二物点间的反差。如果第二物点位于圆周之外．便可被透镜鉴别出来，因此?r0就是衍射效应限定的透镜的分辨本领。 ?r0的物理含义 结论： 若只考虑衍射效应，在照明光源和介质一定的条件下，孔径角α越大，透镜的分辨本领越高。 Rayleigh公式 (二)像差对分辨率的影响 各散焦班半径折算回物体后得到?rS 、 ?rA 、 ?rC 值自然就成了由球差、像散和色差所限定的分辨本领。 球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素。若同时考虑衍射和球差对分辨本领的影响时，则会发现改善其中一个因素时会使另一个因素变坏。 关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角α0，使得衍射效应Airy斑和球差散焦斑尺寸大小相等，表明两者对透镜分辨本领影响效果一样。令式(7－9)中的?rS和式(7—12)中的?r0 相等，求出： 电磁透镜的分辩本领为： ?r0＝A.λ3/4.Cs1/4 A≈04－0.5。 目前TEM最佳分辨率达0.1nm，例如日本日立公司的H-9000型TEM的点分辨率为1.8?。 7—3 电磁透镜的景深和焦长 一、景深 电磁透镜的另一特点是景深(或场深)大，焦长很长，这是由于小孔径角成像的结果。 把透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深，用Df来表示，如图7—9所示。它与电磁透镜分辨本领?r0 ，孔径半角α之间关系： 图7—9 电磁透镜景深 把透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深，用Df来表示 (7—13) 这表明，电磁透镜孔径半角越小，景深越大。一般的电磁透镜的α ＝10-2-10-3rad，Df＝(200-2000) ?r0 。如果透镜分辨本领?r0＝10?，则Df＝2000—20000?。 对于加速电压100 kV的电子显微镜来说，样品厚度一般控制在2000?左右，在透镜景深范围之内，因此样品各部位的细节都得到清晰的像。 在透镜景深范围之内，因此样品各部位的细节都能得到清晰的像。如果允许较差的像分辨率(取决于样品)，那么透镜的景深就更大。 电磁透镜景深大，对于图像的聚焦操作(尤其是在高放大倍数情况下)是非常有利的。 二、焦长 当透镜焦距和物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，也会引起失焦。如果失焦引起的失焦斑尺寸不超过透镜因衍射和像差引起的散焦斑大小．那么像平面在一定的轴向距离内移动，对透镜像的分辨率没有影响。 我们把透镜像平面允许的轴向偏差定义为透镜的焦长，用DL表示，见图7—10。 图7-10 电磁透镜焦长 像平面 主平面 物平面