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微系统检测-国立勤益科技大学
國立高雄應用科技大學機械工程系
「微系統特論 」跨校課程
微系統檢測
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國立勤益科技大學機械工程系教授兼學務長
1
薄膜測厚儀
(Nanoscope)
廠牌 ：RUDOLPH RESEARCH
型號 ：Auto ELR-11
Ellipsomete 2
4-point 探針測阻值
廠牌 ：NAPSON 型號 ：RT-7
儀器功能：
測試半導體層 、雜質擴散層或離子佈植層的
電阻值
重要規格 ：
可測之最大值400仟歐姆/square
3
Surface ( α-step) 2D Profiler
Dektak II A
重要規格 ：
1.最大可測高度65um
2.解析度5A
3.掃瞄長度50um--
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4
3D Profiler
The non-contact NT3300 features
advanced automation and outstanding
software for highly accurate, 3D
surface topography measurements.
The most advanced surface metrology
system available, the NT3300 rapidly
measures heights from Angstroms to
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