微透镜阵列的飞秒激光加工方法-精密成形工程.PDF

精 密 成 形 工 程 第8卷 第2期 90 JOURNALOFNETSHAPFORMINGEENGINEERING 2016年03月 微透镜阵列的飞秒激光加工方法 刘伟 （陕西国防工业职业技术学院，西安 710300） 摘要：为研究常用的微透镜制造方法，通过熔融光刻胶法、反应离子束刻蚀技术、微喷打印法、飞秒激光加工 法、热压印法等的对比，表明采用飞秒激光加工以及局部腐蚀的方法，能够加工各种形状的微透镜阵列，而且 加工时间短，制造成本低，微透镜最小特征尺寸可以达到30 μm以内。将飞秒激光加工的微透镜阵列作为 模板，运用热压印技术进行复制，不仅能够获得质量良好的微透镜阵列，还能够批量化生产，减小制造成本。 关键词：熔融光刻胶法；反应离子束刻蚀技术；微喷打印法；飞秒激光加工法；热压印法 DOI：10.3969/j.issn.1674-6457.2016.02.020 中图分类号：TG39 文献标识码：A 文章编号：1674-6457（2016）02-0090-04 FemtosecondLaserMachiningMethodofMicrolensArray LIUWei （ShaanxiInstituteofTechnology，Xi′an 710300，China） ABSTRACT：Forthestudyofmicrolensmanufacturingmethods，thecomparisonofmeltingphotoresist，reactiveion beametchingtechnique，microjetprintingmethod，femtosecondlaserprocessingmethodandthermalcomparison printingconcludedthat：femtosecondlasermachiningandthemethodoflocalcorrosioncanbeappliedtovariousshapes ofmicrolensarray，withshortprocessingtimeandlowmanufacturingcost，andtheminimumfeaturesizesofmicrolens canbereachedwithin 30 microns.Conclusion：Thefemtosecondlasermachiningofmicrolensarrayasatemplate， usingthermalprintingtechnologytoreproduce，cannotonlyobtaingoodqualitymicrolensarray，butisalsosuitablefor massproductiontoreducemanufacturingcosts. KEYWORDS：meltingphotoresist；reactiveionetchingtechnology；microsprayprintmethod；femtosecondlaser processingmethod；hotpressingmethod 微透镜阵列的光学性能和制造方法已经有相关 的存在将影响照明灯和显示器等设备的出光强度和 的研究。然而，在微透镜排列和布置方面还有许多问 均匀性，因为照射到“盲区”的光并不能被利用。对于 题值得研究，例如，不论微透镜如何排列和布置，总会 常规的微透镜阵列结构，微透镜不论如何排列“盲区” 在相邻微透镜之间形成空隙，而这些空隙将会极大地 总是不可避免的。可以通过改变微透镜的结构，如将 影响出光强度和均匀度，因为将会有部分光落在这个 透镜底