激光平面干涉仪技术总结.ppt

日本300m长臂激光干涉仪 各国建造的长臂干涉仪分布图 三、干涉条纹信号的移相 1.狭缝移相法 在两光电接收器前分别置两狭缝，如图 11-15所示。 图11-15 狭缝移相 使两狭缝相对移开 干涉条纹的距离，这样通过两狭缝的两组干涉条纹就有 的位相差。当然狭缝的宽度与条纹间隔的比值还必须满足比宽度的要求，用这种移相法时狭缝的方向应平行于条纹。 δ 2mπ (2m+1)π 0 Imax Imin 2.在析光镜上镀移相膜法 如图11-16在干涉系统的析光镜上镀移 相析光膜，该移相析光膜不仅使入射光线在 此一分为二，而且光线在该膜层上每反射一 次就产生 的位相跳变。? 图11-16 在析光镜上镀移相膜 2 1 两路光均反射一次，无附加光程差 Ⅰ2光均反射2次， Ⅱ2 2次透射，有 附加相位差 Ⅱ1 Ⅰ1 Ⅰ2 Ⅱ2 在图中，到达光电接收1的两相干光束 Ⅰ1和Ⅱ1，由于两者均在移相析光膜上反射 一次，所以干涉的结果没有附加的移相。而 到达光电接收器2的两相干光线Ⅰ2和Ⅱ2，由 于光束Ⅱ2是经过两次透过移相析光膜后到达 光电接收器2，而光束Ⅰ2则是在移相析光膜上 两次反射后到达光电接收器2的，它有 的 位相跳变，因此相干光束Ⅰ2和Ⅱ2产生的干 涉条纹将有 的附加移相。这样，通过移相 析光膜后，光电接收器1和2接收到的两组干 涉条纹彼此间就有 的移相。此法可获得十 分稳定的条纹移相。 四、细分、判向原理（与莫尔条纹细分、判向原理相同） 原始信号：互成900的Sinθ、cosθ 1.差分放大后的信号 Q+=t1p4+t2p1+t3p2+t4p3 Q-=t1p2+t2p3+t3p4+t4p1 2.整形及信号处理 五、反射器 1. 平面反射镜 2.直角棱镜反射器 激光干涉测长仪中，干涉条纹的运动受反射镜 动镜倾斜影响非常大。 由于导轨直线度影响，动镜沿导轨移动过程中有 的偏摆，条纹间隔就会从无穷宽变到30mm左右， 条纹方位也随差倾斜方法的不同而改变。 要使动镜移动时条纹间隔及方向不变，必须对导轨的直线性提出苛刻要求，这在工艺及经济性上是办不到的。 是否有一种反射镜，使得输入输出光线严格平行，而不受动镜本身的摆动影响呢？回答是肯定的。 3. 角锥镜 Cube Corner Rettoreflector （CCR） （三垂面镜）“箱体一角” 结论：无论从哪一方向入射，出射总与入射光平行。干涉仪中绝大部分使用它。 证明：设入射光矢量为 反射光矢量为 反射面法线矢量为 Ⅰ面法线 ： Ⅱ面法线 ： Ⅲ面法线 ： 则反射化式的矩阵形式为 各面的反射矩阵分别为 Ⅰ面： Ⅱ面： Ⅲ面： 经第I面反射得 经第Ⅱ面反射得 经第Ⅲ面反射得 得证 1） 在角锥棱镜反射系统中, 出射光线具有与入射光线平行,方向相反的特性。常在激光干涉测长系统中，使用角锥棱镜作反射器。 2）证明：出射光线与入射光线平行, 且方向相反. 证: 如图1所示,底面方程为: 3.角锥棱镜（“应光”PPT) 入射光线单位矢量可表示为 为A10的方向数 反射面AOB的单位矢量为n1=-k 图1 由矢量形式的反射定律 反射面BOC的单位矢量为n2=-i,反射光A3的单位矢量 反射面COA的单位矢量为n3=-j,反射光A4的单位矢量 故A10与A40平行且方向相反。 n1、n2、n3、的法线方向定义为x、y、z的反方向(见第1章） A1 A2 A3 A4 4. 猫眼镜Cat’s Eye Rettoreflector （CER） 近轴情况下保证平行进、平行出。 结构特点： 1） 2） 习题1. 有如图球面干涉光学系统，已知: f1＇=350mm， f2＇=150mm观察屏幕直径D=80mm，距干涉仪出瞳 距离q=200mm，激光波长λ=0.6μm ? 题1图 （1） 在图上标出入瞳和出瞳的位置，被测球面如图示位置时（E与E＇）屏幕上看到的干涉条纹形状如何？ （2）欲测E的面形误差，希望干涉场呈现直排横条 纹，应使E作垂轴移动。人眼能感到屏幕上条纹变化 量不超过1个条纹（ΔN=1），试计算E的微动量。 习题2. 干涉测长机中采用三垂面镜作逆向反射 器的目的是什么？