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电子束辐照下钛酸锶钡薄膜的电子能量损失谱研究-中国科学
E 2004, 34(9): 961~968 961
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(, 100084)
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SCIENCE IN CHINA Ser. E Engineering Materials Science
962 E 34
1
BST Jülich
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Ba, Sr Ti 3 : Ba(thd)2, Sr(thd)2
Ti(O-iPr) (thd) . Pt/TiO /SiO /Si, (111) Pt
2 2 2 2
100nm. 670°C (Ba Sr )TiO , 30nm. ,
0.7 0.3 3
3060nm,
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