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超导红外单光子探测器-中国科学
2008 年 第 53 卷 第 21 期 : 2668 ~ 2670
SCIENCE IN CHINA PRESS
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, , , , , ,
, 210093
* , E-mail: kanglin@
2008-05-20 , 2008-09-19
(: 2006AA12Z120)(: 2006CB601006, 2007CB310404)
NbN ,
, 1550 nm .
. ,
, , .
hotspot, hotspot 10 μm 10 μm. ,
[1~5], , Ic,
, T
(PMT), . (Bias T)
(APD)(super- , . ,
conductor single photon detector, . T 10~
SSPD), SSPD , 4200 MHz, 10~1000
, MHz, 50 dB, 1 G
. . 1,
[6~12]. , SSPD SSPD - (FP-LD)
[13,14] [15] [17]
, , 1 mW
. [18,19] , (continuous wave, CW), 1550
SSPD (EBL) SSPD nm.
(RIE), 4 nm . MgO , 50~ 100
100~500 nm NbN , dB.
, EBL RIE . 1
. SSPD , SEM SSPD
,
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