仪器分析张新荣电子能谱分析法.pptVIP

定量分析 根据微分谱上的正峰和负峰的高度差，即峰—峰值IiWXY，定量确定元素的含量。因为俄歇谱峰的强度 式中除ni外，其余各项如果测定或计算出后，根据IiWXY的测定，即可计算出ni。 若试样含有N个元素，则单位体积内，元素i的摩尔分数xi为 常用的定量方法有标样法和相对灵敏度因子法 纯元素标样法 以各种纯元素j作标样，在相同条件下分别测量试样中各元素的IiWXY和标样的同一俄歇峰强度 ，则 如果试样中有N种元素，就需要N种纯元素标样，进行2N次测量，相当繁琐费时。但是，标样法较准，特别是用与待分析试样成分近似的合金或化合物标样。 它是定量分析的基础。 相对灵敏度因子法 取纯银标样的主峰（351eV的MNN峰）作为标准，在相同的条件下测量纯i元素的标样与纯银标样主峰进行比较，即 则Si称为i元素的“相对灵敏度因子”。各元素的Si均已测定出来，并绘制成曲线，以备使用。有了Si，则 根据实测的IiWXY和 以及Si可计算出xi. 影响IiWXY的主要因素： A、初级电子束流Ip； B、调制能量的峰-峰值Em和锁相放大器的放大倍数L。 它们的乘积，即d=IpEmL，称为刻度系数。如果测IiWXY与 的刻度系数d不同，则 若不计各 的差异，无标样便可求得xi。假如各dj相同，可进一步简化为 A、相对灵敏度因子法准确性较低，但不需标样，因而应用较广。 B、杂散磁场和试样的位置误差均会强烈地影响测试结果。 目前的解决办法： 仪器外部的磁场采取屏蔽措施； 试样位置引起的误差，对用筒镜分析器可籍弹性峰调准试样位置使误差减至最小； 对用半球分析器的仪器，试样位置影响不大。 例题 利用俄歇电子微分谱测定304不锈钢表面成分。初级电子束能量Ep=3keV，测试结果如图所示。图上带有“*”号的几个强峰分别为Fe的703eV，强度IFe为10.1，Cr的529eV，ICr为4.7；Ni的848eV，INi为1.5。查得其相对灵敏度因子分别为SFe=0.2，SCr=0.29，SNi=0.27。 解： 根据式 则 同理，xCr=22%；xNi=8%。 2 X射线光电子能谱 早在19世纪末，就发现了光电发射现象，这一物理效应发展成今天的X射线光电子谱仪是20世纪60年代末的事情。 其显著特点是不仅能测定表面除H、He以外周期表中所有的元素，而且能确定各元素的化学状态，并有很高的灵敏度，在实验时试样表面受辐照损伤小。 常用MgKα（1253.6eV）和AlKα（1486.6eV）激发试样，产生的X射线光电子的平均自由程λ在0.3~2nm，是目前表面分析中使用最广的谱仪之一。 基本原理 用一束单色的X射线激发试样，当X射线的光子能量大于试样中原子、分子或固体中某原子轨道电子结合能EB时，原子因受激而发射电子，得到具有一定动能EK的光电子。 X射线光电子谱仪原理图 X射线光电子谱仪的基本组成如图所示。测试时，首先将试样引入试样室，用一束单色X射线激发试样产生光电子。 根据爱因斯坦光电发射定律，有 式中，h为普朗克常量；v为X射线的频率。 金属铝的XPS谱图（激发源为单色AlKα）（a）扫描全谱；（b）为（a）高能端的扩展 这些光电子进入能量分析器，利用能量分析器的色散作用，可获得按能量大小分布的X射线光电子谱，如图所示。 应用举例 以上图为例，分析这张铝的图谱，可以得到： 1）由于不同元素原子各轨道电子结合能为一定值且互不重叠，只要在宽能量范围内对试样进行一次扫描，由各谱峰对应的结合能便可确定试样表面的元素组成，进行元素定性分析。 如本试样表面除铝外，还有C1s和O1s两个峰存在，显然试样表面除被氧化外，还被碳污染了。 2）还可利用谱峰所属面积的大小，即谱峰的强度，进行元素定量分析。 3）由于化学环境不同而引起内壳层电子结合能的变化。在图谱上产生峰位移动现象，称之为化学位移。如图（b）所示，在Al2s和Al2p谱线低动能一侧都有一个肩峰出现，分别对应Al2O3中铝的2s和2p轨道电子的能量。因此，可根据内壳层电子结合能位移的大小来测定有关元素的化学状态。 4）谱图中，还有铝的价带谱和等离子激元等伴峰出现，它们常同试样的电子结构密切相关，这是XPS提供的又一重要信息。 如果用离子溅射剥蚀试样表面，用X射线光电子谱分析，二者交替进行，还可得到元素及其化学状态沿深度的分布。 应用举例 其他能谱 随着技术的发展与进步，界面和相界面的研究不断伸入的今天，对表面和界面分析技术的要求也越来越高，材料科学家和表面分析专家不断地致力于这一领域的研究。 低能电子衍射 二次离子质谱 场电子和场离子显微镜 卢瑟福背散射能谱 电子能耗谱等等 都在材料研究中发挥着